团体标准 T/FSS 133 — 2024 佛山标准 光刻气 氪氩 混合 气 Foshan standard P hotolithography g ases K ry pton and argon mixed gases 202 4 - 09 - 26 发布 202 4 - 09 - 29 实施 佛山市佛山标准和卓越绩效管理促进会 发 布 ICS 71.100.20 CCS G 86 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/FSS 1 3 3 — 202 4 I 前 言 本文件按照 GB/T 1.1 — 2020 《标准化工作导则 第 1 部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由 佛山市佛山标准和卓越绩效管理促进会 提出并归口。 本文件起草单位： 广东华特气体股份有限公司、 佛山市佛山标准和卓越绩效管理促进会、 佛山市标 准化协会 。 本文件主要起草人： 傅铸红 、 叶相平 、 邹宏栋、黄汉滨 、 吴维孟 。 全国团体标准信息平台 T/FSS 1 3 3 — 202 4 II 引 言 佛山标准是佛山市为推动制造业高质量发展，打造的系列先进标准。 佛山标准倡导“标准决定质量，只有高标准才有高质量”的理念，坚持“国内领先、国际先进”定 位，聚焦佛山制造业重点产业优势产品，对标国内国际先进标准，围绕消费升级方向，提升标准和质量 水平，增加优质产品供给，以高标准打造中国制造品质高地，满足人民日益增长的美好生活需要。 全国团体标准信息平台 T/FSS 1 3 3 — 202 4 1 佛山标准 光刻气 氪氩 混合 气 1 范围 本文件规定了 光刻气 氪氩 混合 气 的 术语和定义、 技术 要求、 制备、 试验方法、检验规则 、 标志、包 装、 运输、贮存 、 安全信息 及质量承诺 。 本 文件 适用于 由高纯氪和高纯氩为原料制备的混合气体 。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 4842 氩 GB/T 4844 纯氦、高纯氦和超纯氦 GB/T 5099 （所有部分） 钢质无缝气瓶 GB/T 5829 氪气 GB/T 5832.2 气体分析 微量水分的测定 第 2 部分：露点法 GB/T 6285 气体中微量氧的测定 电化学法 GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB/T 8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法 GB/T 11640 铝合金无缝气瓶 GB/T 14194 压缩气体气瓶充装规定 GB/T 14850 气体分析 词汇 GB 1 5258 化学品安全标签编写规定 GB/T 16804 气瓶警示标签 GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T 43306 气体分析 采样导则 GB/T 44329 混合气体的制备 称量法 H G/T 5894 — 2022 电光源用混合气体 氪气 / 氩气 TSG 23 气瓶安全技术规程 3 术语和定义 GB/T 14850 、 GB/T 44329 界定的术语和定义适用于本文件。 全国团体标准信息平台 T/FSS 1 3 3 — 202 4 2 4 技术 要求 4.1 原料气 4.1.1 高纯 氪 应符合 GB/T 5829 中高纯 氪 的技术要求 。 4.1.2 高纯氩 应符合 GB/T 4842 中高纯 氩 的技术要求 。 4.2 混合气体 应符合表 1 的规定。 表 1 混合气体 技术 要求 项目名称 技术指标 氪气含量（摩尔分数） × 10 - 2 1.0 ～ 90.0 氩气含量（摩尔分数） × 10 - 2 99.0 ～ 10.0 氧气含量（摩尔分数） × 10 - 6 ≤ 0.5 氢气含量（摩尔分数） × 10 - 6 ≤ 0.5 氮气含量（摩尔分数） × 10 - 6 ≤ 2.5 一氧化碳含量（摩尔分数） × 10 - 6 ≤ 0. 3 二氧化碳含量（摩尔分数） × 10 - 6 ≤ 0. 4 甲烷含量（摩尔分数） × 10 - 6 ≤ 0. 3 氟化物（ CF4 ）含量（摩尔分数） × 10 - 6 ≤ 1.0 氙气含量（摩尔分数） × 10 - 6 ≤ 2 水含量（摩尔分数） × 10 - 6 ≤ 0.5 注： 制备相对标准偏差氪气含量的± 2 ％以内。 5 制备 按 H G/T 5894 — 2022 中第五章的规定进行。 6 试验方法 6.1 氪 气含量、 氩 气含量的测定 按 H G/T 5894 — 2022 中 7 .1 的规定进行 。 6.2 氧气 含量的测定 按 GB/T 6285 的规定执行，允许采用其他等效方法测定。当对测定结果有异议时，以 GB/T 6285 规定的方法为仲裁方法 。 全国团体标准信息平台 T/FSS 1 3 3 — 202 4 3 6.3 氮气 、 氢气、氙气和 氟化 物 含量的测定 按 GB/T 28726 的规定 进行， 可采用其他等效的方法测定 。当对测定结果有异议时，以本文件规定 的方法为仲裁方法 。 6.3.1 预分离柱 长约 4 m 、内径 3 mm 的不锈钢柱， 内装粒径为 0.15 mm ～ 0.18 mm 的高分子聚合物 （乙基苯乙烯和 二乙烯基苯的共聚物） ，或其他等效色谱柱 。 6.3.2 色谱柱 色谱柱 1 ： 柱长约 2 m 、内径约 3 mm 的不锈钢柱， 内装粒径为 0.18 mm ～ 0.25 mm 的 5A 分子筛，或 其他等效色谱柱。该柱用于测定 氢、氮的 含量。 色谱柱 2 ： 柱长约 3 m 、内径 2 mm 的不锈钢柱，内装 粒径为 0.1 8 mm ～ 0.25 mm 的 Porapak Q （ 一 种高分子聚合物 ）， 或其他等效色谱柱 。 该柱用于测定 氟化 物 、氙的 含量。 6.3.3 气体标准样品 气体标准样品中 组分含量为（ 0.5 ～ 5 ） × 10 - 6 （ 摩尔分数 ） ，平衡气为高纯氦 ，应符合 GB/T 4844 的规定 。 6.4 一氧化碳 含量、 二氧化碳 含量 和甲烷含量 的测定 按 GB/T 8984 的规定进行，可采用其他等效的方法测定。当对测定结果有异议时，以本文件规定的 方法为仲裁方法 。 6.4.1 色谱柱 色谱柱： 柱长约 2 m 、内径约 2 mm 的不锈钢柱， 内装粒径为 0. 25 mm ～ 0. 4 mm 的 TDX - 01 分子筛， 或其他等效色谱柱。该柱用于测定 一氧化 碳、甲烷、二氧化碳的 含量。 6.4.2 气体标准样品 气体标准样品中 组分含量为（ 1 ～ 5 ） × 10 - 6 （ 摩尔 分数 ） ，平衡气为 高纯氮， 应符合 GB/T 4844 的 规定 。 6.5 水分 含量的测定 按 GB/T 5832.2 的规定进行，允许采用其他等效方法测定。当对测定结果有异议时，以 GB/T 5832.2 规定的方法为仲裁方法 。 7 检验规则 7.1 采样 应符合 GB/T 43306 的规定。 全国团体标准信息平台 T/FSS 1 3 3 — 202 4 4 7.2 检验、判定和复验 应逐一检验并验收光刻气氪氩 混合 气产品 。 当检验结果均符合本文件的技术要求时， 判该产品合格。 当检验结果有任何一项指标不符合 本文件 的技术要求时，则判该产品不合格。 7.3 尾气处理 测定时，应将 光 光刻气氪氩混合气 尾气室外排放，以防止 光刻气氪氩混合气 在室内的聚集 。 8 标志、包装、 运输、贮存 及安全信息 8.1 标志 8.1.1 光刻气氪氩混合气 出厂时应有产品质量合格证，其内容至少应包括： a) 产品名称，生产厂名称，危险化学品安全生产许可证编号； b) 生产日期或批号，以及保质期； c) 充装压力（ MPa ）； d) 氪气含量、氩气含量； e) 本文件号。 8.1.2 包装容器上应涂刷“ 氪氩混合气 ”字样。 8.1.3 光刻气氪氩混合气 的包装标志应符合 GB 190 的规定，颜色标志应符合 GB/T 7144 的规定，标签 应符合 GB 15258 、 GB/T 1680