ICS 29.260 SJ L 92 备案号：10995—2002 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11275—2002 卧式液相外延系统通用规范 Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system 2002-10-30发布 2003-03-01实施 中华人民共和国信息产业部发布 SJ/T11275—2002 目 次 前言， 范围， 1 规范性引用文件 2 术语和定义 3 4产品型号及命名方法 技术要求， 5 试验方法 6 检验规则 7 8 标志、包装、运输、贮存 SJ/T11275-2002 前 言 本规范是根据GB/T1.12000《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写规则》、GB/T1.3 -1997《标准化工作导则第3部分：产品标准编写规定》的要求进行编写的。规范中，通用技术条件 参照了SJ1794《半导体器件生产用扩散炉通用技术条件》。测试条件、测试设备及仪器、恒温区温度 精度测试、单点稳定性测试,参照了SJ2065《半导体器件生产用扩散炉测试方法》。安全设计，部分参 照了GB16754→1997《机械安全急停设计原则》。降温速率、降温过程恒温区温度的平坦度等技 术要求，是根据液相外延设备的技术特点制定的。 本规范由中国电子技术标准化研究所（CESI）归口。 本规范起草单位：信息产业部电子第四十八研究所。 本规范主要起草人：袁章其、刘日喜、王理政、李军阳。 SJ/T11275-—2002 卧式液相外延系统通用规范 1范围 本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以 及包装、运输、贮存。 本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备， 亦可参照执行。 2规范性引用文件 下列文件中条款通过在本规范的引用而成为本规范的条款。亢是注且期的引用文件，其随后所有的 是否可使用这些文件的最新版本。是态注日期的用文件严其最新版零适用于本规范。 GB191包装储运图示标志 GBn193出口机械电工仪器仪表产品包装通用技术条件 GB5080.7设备可靠性试验恒定失效率假定下的平均无故障时间的验证试验方案 GB6388运输包装收发货标志 SJT37-1996电承工业专用设备型号编制与命名方法 SJ1276金属镀层和化学处理质量检验要求 SJ 2573 涂料漆拉通用技术系荐 术语和定义 3 下列术语适用于本规范 3. 1 液相外延liqud 以温度差或过冷度引起的 第度为驱动力使过饱和溶液中落质的原学定岗析出， 定积在与溶液 相接触的单晶衬底表面， 离衬底晶格一致、匹配良好的薄膜层的工艺方法。 3.2 温度串级控制 cascade mperature 反应室内工艺温度的控制回路与炉障加热温度的控制回路申接而构战的双闭环控制回路。 EY 3. 3 降温速率coolingrate 单位时间内下降的温度值。单位：℃C/min。 3. 4 恒温区温度精度accuracyofflatzonetemperature 炉温稳定后，恒温区内沿恒温区长度方向的温度均匀性。 3.5 恒温区温度开机重复性repeatabilityofflatzonetemperature 测量热偶检测出恒温区内某一测量点的温度，关机24h后重新开机升至前一天的温度，其稳定温度 与关机前的温度偏差值。 1 SJ/T11275——2002 3. 6 降温过程恒温区温度的平坦度flatzonesmoothnessduringcoo!ing 恒温区温度降温过程任意一时刻沿恒温区长度方向的温度均匀性。 4产品型号及命名方法 根据SJ/T37一1996《电子工业专用设备型号编制与命名方法》的规定，型号及命名方法如下： M 企业代号 产品设计的顺序 温度（以100℃为单位） 种，液相外延设备 型，气相淀积及外延设备 类，表面处理和薄膜淀积设备 示例：×X企业所生产的温度为1100C的第一代液相外延系统型号为M8611-1/XX。 5技术要求 5.1工作条件 5.1.1环境温度：5℃~40℃。 5.1.2大气压强：86kPa~106kPa。 5.1.3净化间净化级别：优于10000级。 5.1.4相对湿度：<70%。 5.1.5无高频及较强磁场的干扰。 5.1.6电源：交流380X(1土10%)V；频率：50X(1±1%)Hz。 5.1.7冷却水：软水；温度18℃26℃；水压0.2MPa0.4MPa。 5.1.8 设置散热、排废、热气抽风口。 5.1.9 氢气、氮气、氨气、氩气纯度优于99.9999%。 5.2外观及结构要求 5.2.1 外观要求 a) 设备外观应整齐平整，表面不应有明显凸凹不平、划伤、锈蚀等缺陷。适当装饰，色泽协调、 美观； b) 涂覆的零部件，应符合SJ2573的要求； c) 金属镀层及化学处理的零部件，应符合SJ1276的要求； d) 紧固件连接牢固，无松动现象； e) 面板上的文字、符号和标志清晰准确。 5.2.2 结构要求 a) 布局合理，便于操作、装拆、维修； b) 配有散热、排废气接口； c) 推舟机构运转灵活、无卡滞现象； d) 水冷装置的进出水畅通，无滴漏现象。 2 SJ/T11275—2002 5.3安全要求 5.3.1设备应具有超温、断偶、漏氢、停电、停水、反应室内过压等安全防护装置或报警装置。停水 与加热，反应室内过压与送气、漏气与工艺运行应分别形成联锁。 5.3.2设备应设有防止误动作的安全联锁装置。 5.3.3反应残余气体应经尾气处理装置处理后方可排放。 5.3.4设备应设有急停装置防止机械于运行异常及漏氢。 5.4主要性能要求 5.4.1恒温区温度精度 温度精度；400℃800℃，±1℃；800℃~1100℃，±0.5℃。 5.4.2恒温区温度显示分辨率 分辨率：0.1℃。 5.4.3恒温区温度单点稳定性 单点稳定性：400℃～800℃，±1℃/24h；800℃1100℃， ±0.5℃/24h。 5.4.4真空度 反应室的极限压力应小于2Pa在室温下从 由气厨间应小于&min。 5.4.5降温速率 a) 降温速率在产品详细规范中应规定具体指标； b) 降温速率能在一是范围内以0.1℃/min为单位调节。 5.4.6降温过程恒温区温度的平坦度 5.4.7净化台工作区净化级另 净化级别优于1000级 5.4.8气路分系统漏气率 漏气率：≤1.3×403p41/s 5.4.9定位精度 外延舟相对推舟机构的水平移动的定位精度不 5.4.10恒温区温度开机重复性 重复性：400℃ 110℃ 5.5可靠性要求 MTBF≥500h， MT 6试验方法 6.1试验设备及仪器 6.1.1尘埃粒子计数器。 6.1.2He质谱检漏仪，He气皮囊，减压阀（0MPa～0.4MPa）。 6.1.3成套工作的电位差计，精度：不低于0.05级。 6.1.4冰瓶、铜一铜镍补偿导线。 6.1.5标准铂10--铂热电偶，精度：不低于二级；长度：1.5m。 6.1.6计时器。 6.2外观及结构检查 6.2.1目测产品外观，应符合5.2.1条要求。 6.2.2目测系统结构，手动运行推舟机构应符合5.2.2条要求。 3 SJ/T11275—2002 6.3安全试验 6.3.1漏氨报警保护 氢气报警器设定额定报警值，人为将一定量的氢气引入氢气检测器，设备应发出声、光报警，并自 动切断氢气流及电阻炉加热电源。 6.3.2超温报警 炉温到达温控仪设定的某一温度值之后，人为将温控仪设定值降低5℃～10℃，设备应发出声、光 报警并自动切断电阻炉加热电源。 6.3.3断偶报警 电阻炉在工作中，人为断开任意一热偶的引出接线，温控仪、计算机屏上应有相应显示，且操作面 板的相应红灯闪烁报警。 6.3.4断水报警 设备运行过程中，关闭进水阀门，操作面板上指示红灯亮，并自动切断电阻炉加热电源。 6.3.5反应室内过压报警 反应室通气的过程中，人为调动过压报警开关，使其接通，设备应发出声光报警，供气阀门应截止 供气，泄压阀开启。 6.3.6停水与加热联锁 人为停止供水，电阻加热炉应不工作。 6.3.7反应室漏气与工艺运行联锁 系统运行中，人为使反应室泄漏，计算机工艺程序应暂停，并在该工步等待泄漏报警解除。 6.3.8目测检查尾气处理装置，应符合5.3.3条。 6.3.9设备急停 设备运行中，手动按下红色蘑菇按钮，应符合5.3.4条。 6.4主要性能检测 6.4.1恒温区温度精度检测 a）测试装置连结如图1所示，允许使用经过校准的补偿导线作为热偶冷端的延伸线，热偶冷端为 0℃，热偶工作端的保护套管的直径应不大于10mm。 000000000 标准电池 检流计 冰瓶 电位差计9 图1恒温区温度精度检测示意图 b) 对恒温区长度小于或等于800mm的电阻炉，采用单端全程一次测量法，如图2所示；热偶工 作端沿炉膛轴线从恒温区的远端往炉口每隔50mm测量一点，每点停留5min，该数据全程 次测完。