(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222267694.8 (22)申请日 2022.08.26 (73)专利权人 德中 （苏州） 激光 技术有限公司 地址 215000 江苏省苏州市工业园区星 汉 街5号腾飞新苏工业坊D幢1楼05/08单 元 (72)发明人 郑明苗　 (74)专利代理 机构 北京同辉知识产权代理事务 所(普通合伙) 11357 专利代理师 邢彬 (51)Int.Cl. B23K 26/00(2014.01) B23K 26/70(2014.01) (54)实用新型名称 适用于柔 性检测器件的激光 微纳加工设备 (57)摘要 本实用新型涉及一种适用 于柔性检测器件 的激光微纳加工设备， 包括有设备本体， 所述设 备本体上安装有运动装置， 运动装置上分别设置 有第一激光加工模组与第二激光加工模组， 第一 激光光路装置与第二激光光路装置的工作波长 不同。 由此， 设有独立的运动装置， 可以实现稳定 的Z轴运动引导， 便于实现不同激光加工模组的 运转位置切换。 采用两个激光加工模组相互配 合， 可以提供不同的工作波长， 满足同一个工位 不同波长的加工， 也可以实现不同工位不同波长 的加工， 无需进行繁杂的激光加工设备切换， 提 高了加工效率。 配置有相应的设备视觉装置， 可 以实施查看当前的激光加工状态， 实现有效的管 控， 提高成品优良率。 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 CN 217859318 U 2022.11.22 CN 217859318 U 1.适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备， 包括有设备本体， 所述设备本体上安装 有运动装置， 其特征在于： 所述运动装置上分别设置有第一激光加工模组与第二激光加工 模组， 所述第一激光加工模组包括有与运动装置相连的第一激光光路装置， 所述第一激光 光路装置的输出端连接有第一激光输出装置， 所述第一激光输出装置的一侧设置有第一设 备视觉装置； 所述第二激光加工模组包括有与运动装置相连的第二激光光路装置， 所述第 二激光光路装置的输出端连接有第二激光输出装置， 所述第二激光输出装置的二侧设置有 第二设备视 觉装置； 所述第一激光 光路装置与第二激光 光路装置的工作波长不同。 2.根据权利要求1所述的适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备， 其特征在于： 所述 运动装置包括有垂直承载板， 所述垂直承载板上设置有镜像分布有导轨， 所述导轨之间设 置有滚珠丝杆， 所述滚珠丝杆上设置有滑块， 所述滑块底部与导轨活动连接， 所述垂直承载 板上设置有驱动装置， 所述驱动装置与滚珠丝杆相连， 所述滑块上设置有第一激光加工模 组与第二激光加工模组。 3.根据权利要求2所述的适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备， 其特征在于： 所述 导轨的横截面 为工字形， 所述驱动装置为伺服电机， 所述伺服电机上设置有操控通讯接口。 4.根据权利要求2所述的适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备， 其特征在于： 所述 垂直承载板上设置有安装支架， 所述驱动装置设置在安装支架上， 所述安装支架底部设置 有通孔， 所述驱动装置的驱动端设置在通 孔内。 5.根据权利要求1所述的适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备， 其特征在于： 所述 第一激光光路装置、 第二激光光路装置均包括有装置盒体， 所述装置盒体内设置有激光发 生器， 所述装置盒体上导通连接有光路输送管， 所述光路输送管与对应的激光输出装置相 连。 6.根据权利要求1所述的适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备， 其特征在于： 所述 第一激光输出装置、 第二激光输出装置均包括有收纳盒， 所述收纳盒内设置有振镜组件， 所 述收纳盒位于振镜组件的输出端设置有发射端头 。 7.根据权利要求1所述的适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备， 其特征在于： 所述 第一设备视觉装置、 第二设备视觉装置均包括有定位支架， 所述定位支架上设置有CCD组 件。 8.根据权利要求7所述的适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备， 其特征在于： 所述 CCD组件上设置有遮光 罩。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217859318 U 2适用于柔性检测器件的激光微纳加工设 备 技术领域 [0001]本实用新型涉及一种激光微纳加工设备， 尤其涉及一种适用于柔性检测器件的激 光微纳加工设备。 背景技术 [0002]对于常用的医学柔性检测器件、 医用金属材料植入支架的微纳结构制造来看， 往 往会采用激光微纳设备来参与加工， 通过激光微纳设备实现微孔、 阵列微柱、 微纳米毛化结 构的制造 。 同时， 激光 微纳加工设备也可以用于陶瓷、 高分子材 料微纳加工 。 [0003]目前常规的激光微纳加工设备其采用单个激光输出装置， 利用单波长的激光参与 加工。 但是， 随着实际加工应用的需求提高， 同时也是因为激光的特性， 不同波长的激光用 作实际加工时对于镜片参数的需求不同， 单头的激光加工头运动组件已经不能满足现有加 工的需求。 使用期间， 容 易造成加工效率低下。 [0004]为了克服这种缺陷， 对于不 同加工特性的产品， 要么是选配两个激光设备参与加 工， 追加了生产成本。 要么是在一个批次完成后， 更换激光输出装置， 换不同波长的组件进 行二次加工 。 频繁的拆装 会影响加工精度， 且 对调试要求很高， 比较耗时。 [0005]如果采用激光加工设备来配合， 会造成Z轴方向的工位进行频繁调整， 常规的加工 设备缺少调整装置。 并且， 调整后为造成光路变换， 需要实施观察管路。 若采用传统工人利 用电子屏幕进行肉眼纠偏， 需要耗费较大的入力， 且精度依赖 于工人的经验。 [0006]有鉴于上述的缺陷， 本设计人， 积极加以研究创新， 以期创设一种适用于柔性检测 器件的激光 微纳加工设备， 使其更 具有产业上的利用价 值。 实用新型内容 [0007]为解决上述技术问题， 本实用新型的目的是提供一种适用于柔性检测器件的激光 微纳加工设备。 [0008]本实用新型的适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备， 包括有设备本体， 所述 设备本体上安装有运动装置， 其中： 所述运动装置上分别 设置有第一激光加工模组与第二 激光加工模组， 所述第一激光加工模组包括有与运动装置相连的第一激光光路装置， 所述 第一激光光路装置的输出端连接有第一激光输出装置， 所述第一激光输出装置的一侧设置 有第一设备视觉装置； 所述第二激光加工模组包括有与运动装置相连的第二激光光路装 置， 所述第二激光光路装置的输出端连接有第二激光输出装置， 所述第二激光输出装置的 二侧设置有第二设备视觉装置； 所述第一激光光路装置与第二激光光路装置的工作波长不 同。 [0009]进一步地， 上述的适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备， 其中， 所述运动装置 包括有垂直承载板， 所述垂直承载板上设置有镜像分布有导轨， 所述导轨之间设置有滚珠 丝杆， 所述滚珠丝杆上设置有滑块， 所述滑块底部与导轨活动连接， 所述垂 直承载板上设置 有驱动装置， 所述驱动装置与滚珠丝杆相连， 所述滑块上设置有第一激光加工模组与第二说　明　书 1/4 页 3 CN 217859318 U 3