(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222223844.5 (22)申请日 2022.08.23 (73)专利权人 北京北方松阳机 械技术有限公司 地址 100000 北京市房山区燕山燕新 南路 18号院5号楼1单 元1层102室 (72)发明人 李志忠　 (74)专利代理 机构 北京权智天下知识产权代理 事务所(普通 合伙) 11638 专利代理师 邓阿卫 (51)Int.Cl. G01F 15/14(2006.01) G01F 15/18(2006.01) G01F 15/12(2006.01) G01F 15/00(2006.01) B08B 1/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种刻蚀机用气体流 量计的防护阀罩 (57)摘要 本实用新型公开了一种刻蚀机用气体流量 计的防护阀罩， 包括装置主体、 快装机构和清洁 机构， 装置主体包括防护罩体、 连计块与透明罩 面； 连计块设置在防护罩体的下端； 透明罩面固 定连接在防护罩体的上端； 装置主体的下端安装 有快装机构； 快装机构包括连罩块、 卡簧、 卡块、 块槽、 卡槽、 插栓与复位簧； 连罩块固定连接在防 护罩体的下端； 卡簧活动连接在连罩块的两端； 卡块固定连接在卡簧的一端。 该一种刻蚀机用气 体流量计的防护阀罩， 通过安装快装机构， 实现 了便于对防护罩体快速进行安装拆卸， 使得产生 损坏时快速进行拆卸维修， 提升工作效率的功 能， 通过安装清洁机构， 实现了快速进行清洁， 提 高工作效率和显示清晰度的功能。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 217877862 U 2022.11.22 CN 217877862 U 1.一种刻蚀机用气体流量计的防护阀罩， 包括装置主体(1)、 快装机构(2)和清洁机构 (3)， 其特征在于： 所述装置主体(1)包括防护罩体(11)、 连计块(12)与透明罩面(13)； 所述 连计块(12)设置在防护罩体(11)的下端； 所述透明罩面(13)固定连接在防护罩体(11)的上 端； 所述装置主体(1)的下端安装有快装机构(2)； 所述快装机构(2)包括连罩块(21)、 卡簧(22)、 卡块(23)、 块槽(24)、 卡槽(25)、 插栓 (26)与复位簧(27)； 所述连罩块(21)固定连接在防护罩体(11)的下端； 所述卡簧(22)活动 连接在连罩块(21)的两端； 所述卡块(23)固定连接在卡簧(22)的一端； 所述块槽(24)设置 在连计块(12)的内壁； 所述卡槽(25)设置在连计块(12)的内部； 所述装置主体(1)的上端安 装有清洁机构(3)。 2.根据权利要求1所述的一种刻 蚀机用气体流量计的防护阀罩， 其特征在于： 所述清洁 机构(3)包括刷板(31)、 拉把(32)、 转杆(33)、 滑轮(34)与滑槽(35)， 所述刷板(31)设置在防 护罩体(11)的上端， 所述拉把(32)固定连接在刷板(31)的上端， 所述转杆(33)活动连接在 刷板(31)的下端。 3.根据权利要求2所述的一种刻 蚀机用气体流量计的防护阀罩， 其特征在于： 所述插栓 (26)插设在卡槽(25)的内部， 所述复位 簧(27)套设在插栓(26)的外侧。 4.根据权利要求1所述的一种刻 蚀机用气体流量计的防护阀罩， 其特征在于： 所述连罩 块(21)的外表面与块槽(24)相贴合， 所述 卡块(23)的外表面与卡槽(25)相贴合。 5.根据权利要求2所述的一种刻 蚀机用气体流量计的防护阀罩， 其特征在于： 所述滑轮 (34)活动连接在转杆(3 3)的下端， 所述滑槽(3 5)设置在防护罩体(1 1)的内部 。 6.根据权利要求2所述的一种刻 蚀机用气体流量计的防护阀罩， 其特征在于： 所述滑轮 (34)的下端与滑槽(3 5)相配合， 所述刷板(31)的底部与透明罩 面(13)的上端相贴合。 7.根据权利要求1所述的一种刻 蚀机用气体流量计的防护阀罩， 其特征在于： 所述防护 罩体(11)的下端与连计块(12)的内壁相贴合， 所述连罩 块(21)安装有四组。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217877862 U 2一种刻蚀机用气体流量计的防护阀罩 技术领域 [0001]本实用新型 涉及刻蚀机技 术领域， 具体为 一种刻蚀机用气体流 量计的防护阀罩。 背景技术 [0002]刻蚀机是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器， 产地为英国， 蚀刻机可 以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类， 在化学蚀刻中是使用化学溶液， 经 由化学反应以达 到蚀刻的目的， 化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术， 刻蚀机使 用到气体流量计， 气 体流量计是计量气 体流量的仪表。 安装在管路中记录流过的气 体量， 气 体流量计的外侧安装有防护阀罩， 对其外表面 起到防护作用； [0003]目前传统的刻蚀机用气体流量计的防护阀罩， 在使用的过程中， 难以快速对阀罩 进行安装拆卸， 造成安装效率有限， 且现有的防护阀罩损坏后难以快速拆卸进行维修。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种刻蚀机用气体流量计的防护阀罩， 以解决上述背 景技术中提出 的目前传统的刻蚀机用气体流量计的防护阀罩， 在使用的过程中， 难以快速 对阀罩进行安装拆卸， 造成安装效率有限， 且现有的防护阀罩损坏后难以快速拆卸进行维 修的问题。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种刻蚀机用气体流量计 的防 护阀罩， 包括装置主体、 快装机构和清洁机构， 所述装置主体包括防护罩体、 连计块与透明 罩面； 所述连计块设置在防护罩体的下端； 所述透明罩面固定连接在防护罩体的上端； 所述 装置主体的下端安装有快装机构； [0006]所述快装机构包括连罩块、 卡簧、 卡块、 块槽、 卡槽、 插栓与复位簧； 所述连罩块固 定连接在防护罩体的下端； 所述卡簧活动连接在连罩块的两端； 所述卡块固定连接在卡簧 的一端； 所述块槽设置在连计块的内壁； 所述卡槽 设置在连计块的内部； 所述装置主体的上 端安装有清洁机构。 [0007]优选的， 所述清洁机构包括刷板、 拉把、 转杆、 滑轮与滑槽， 所述刷板设置在防护罩 体的上端， 所述拉把固定连接在刷板的上端， 所述 转杆活动连接在刷板的下端。 [0008]优选的， 所述插栓插设在卡槽的内部， 所述复位 簧套设在插栓的外侧。 [0009]优选的， 所述连罩 块的外表面与块槽相贴合， 所述 卡块的外表面与卡槽相贴合。 [0010]优选的， 所述滑轮活动连接在转杆的下端， 所述滑槽设置在防护罩体的内部 。 [0011]优选的， 所述滑轮的下端与滑槽相配合， 所述刷板 的底部与透明罩面的上端相贴 合。 [0012]优选的， 所述防护罩体的下端与连计块的内壁相贴合， 所述连罩 块安装有四组。 [0013]与现有技 术相比， 本实用新型的有益效果是： [0014]1、 本实用新型通过在装置主体的下端安装快装机构的结构设计， 通过连计块内部 的显示刻蚀机用气体流量计的数据， 在防护罩体的下端安装连罩块， 通过将防护罩体插设说　明　书 1/3 页 3 CN 217877862 U 3