(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123020451.6 (22)申请日 2021.12.0 3 (73)专利权人 长沙韶普光电科技有限公司 地址 410100 湖南省长 沙市长沙县铭诚绿 谷智慧产业园19栋101 (72)发明人 陆峰　 (74)专利代理 机构 湖南中泽专利代理事务所 (普通合伙) 43259 代理人 龙予倩 (51)Int.Cl. G03F 7/20(2006.01) B26D 7/02(2006.01) B26D 7/26(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于 显微镜下检查的光刻版夹具 (57)摘要 本实用新型提供一种用于显微镜下检查的 光刻版夹 具。 所述用于显微镜 下检查的光刻版夹 具包括： 输送箱， 所述输送箱上设置有固定机构 和两个调整机构； 所述固定机构包括有电机一、 螺纹长杆、 移动块、 圆柱块一、 固定腔、 安装槽、 电 机二、 转动杆、 锥形齿轮一、 四个螺纹短杆一、 四 个锥形齿轮二、 四个夹板、 两个支 撑板和长板， 所 述电机一固定安装在输送箱的一侧外壁上， 本实 用新型解决的技术问题是提供一种通过在码盘 底部进行吸附固定的方式来避免与切割刀片发 生碰撞， 同时能够使 得光刻设备和切割设备能够 进行位置调整从而保证码盘精度符合标准的用 于显微镜下检查的光刻版夹具。 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 CN 216411861 U 2022.04.29 CN 216411861 U 1.一种用于 显微镜下检查的光刻版夹具， 其特 征在于， 包括： 输送箱， 所述输送 箱上设置有固定 机构和两个调整机构； 所述固定机构包括有电机一、 螺纹长杆、 移动块、 圆柱块一、 固定腔、 安装槽、 电机二、 转 动杆、 锥形齿轮一、 四个螺纹短杆一、 四个锥形齿轮二、 四个夹板、 两个支撑板和长板， 所述 电机一固定安装在输送箱的一侧外壁上， 所述螺纹长杆固定安装在电机一的输出轴 上， 所 述螺纹长杆的一端延伸至输送箱内并与输送箱 转动连接， 所述移动块螺纹安装在螺纹长杆 上， 所述移动块的顶部延伸至输送箱外， 所述圆柱块一固定安装在移动块的顶部， 所述固定 腔开设在圆柱块一上， 所述安装槽开设在固定腔的底部内壁上， 所述电机二固定安装在安 装槽的底部内壁上， 所述转动杆固定安装在电机二的输出轴 上， 所述转动杆 的顶端延伸至 固定腔内， 所述锥形齿轮一固定安装在转动杆的顶端， 四个所述螺纹短杆一均转动安装在 固定腔内， 四个所述锥形齿轮二分别固定安装在对应的螺纹短杆一的一端， 所述锥形齿轮 二与锥形齿轮一啮合， 四个所述夹板分别螺纹安装在对应的螺纹短杆一上， 所述夹板的顶 部延伸至圆柱块一外， 两个所述支撑板均固定安装在输送箱的顶部， 所述长板固定安装在 两个支撑 板的顶部； 所述调整机构包括有液压缸、 圆柱块二、 圆形凹槽一、 转动块、 调整箱、 电机三、 螺纹短 杆二和连接块， 所述液压缸固定安装在长板的底部， 所述圆柱块二固定安装在液压缸 的输 出轴上， 所述圆形 凹槽一开设在圆柱 块二的底部， 所述转动块转动安装在圆形 凹槽一内， 所 述转动块的底部延伸至圆形凹槽一外， 所述调整箱固定安装在转动块的底部， 所述电机三 固定安装在调整箱的一侧外壁上， 所述螺纹短杆二固定安装在电机三的输出轴上， 所述螺 纹短杆二的一端延伸至调整箱内并与调整箱 转动连接， 所述连接块螺纹安装在螺纹短杆二 上， 所述连接块的底部延伸至调整箱外 。 2.根据权利要求1所述的用于显微镜下检查的光刻版夹具， 其特征在于： 对应的所述连 接块的底部固定安装有光刻设备， 对应的所述连接块的底部固定安装有切割设备。 3.根据权利要求1所述的用于显微镜下检查的光刻版夹具， 其特征在于： 所述转动块的 顶部开设有圆形凹槽二， 所述圆形凹槽二的底部内壁上固定安装有齿环， 所述圆形凹槽一 的顶部内壁上固定安装有电机四， 所述电机四的输出轴 上固定安装有圆杆， 所述圆杆的底 端延伸至圆形凹槽二内， 所述圆杆的底端固定安装有转动齿轮， 所述 转动齿轮与齿环啮合。 4.根据权利要求1所述的用于显微镜下检查的光刻版夹具， 其特征在于： 所述夹板的顶 部固定安装有橡胶块， 所述橡胶块上开设有吸气腔， 所述吸气腔的顶部内壁上固定安装有 多个气孔， 所述夹板的一侧固定安装有抽气泵， 所述抽气泵的进气口上固定安装有 连接管， 所述连接管的顶端延伸至吸气腔内。 5.根据权利要求1所述的用于显微镜下检查的光刻版夹具， 其特征在于： 所述固定腔内 固定安装有四个T形滑杆， 所述T形滑杆与对应的夹 板滑动连接 。 6.根据权利要求1所述的用于显微镜下检查的光刻版夹具， 其特征在于： 所述输送箱内 固定安装有滑动杆一， 所述滑动杆一与移动块滑动连接， 所述调整箱内固定安装有滑动杆 二， 所述滑动杆二与连接块滑动连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216411861 U 2一种用于显微镜 下检查的光刻版夹具 技术领域 [0001]本实用新型属于码盘加工技术领域， 尤其涉及一种用于显微镜下检查的光刻版夹 具。 背景技术 [0002]在使用显微镜进行检查测量时， 需要使用到码盘， 码盘是一种具有强分辨能力、 高 测量精度和可靠工作性的用来测量轴转角位置的测量元件， 码盘在生产过程中需要使用光 刻工艺对其进行线条雕刻， 保证其具有高精度的测量效果， 同时需要在完成雕刻后使用精 雕设备对其外形进 行剪切打磨， 要保证码 盘的外形尺寸的精度符合要求， 现有技术中， 公布 了一种码盘切割裂片机， 涉及码盘技术领域， 该码盘切割裂片机， 包括裂片机本体， 所述裂 片机本体的顶部固定有支撑架， 所述支撑架的顶部安装有气缸， 所述气缸内部的活塞杆连 接有刀片， 所述裂片机本体的顶部且位于支撑架的内部固定有底座， 所述刀片位于底座的 上方， 所述底座的内部 设置有调节机构， 且底座的顶部中间处安装有 下料辅助机构， 其通过 控制转环的转动方向， 可使连接环沿着螺柱向上或向下移动， 在连接杆的作用下， 可使三个 限位快同步向底座的中心或边缘移动， 进而可将码盘精确定位在底座顶部的中心处， 以便 提高码盘加工时的精确度， 同时也使装置可对不同直径的码盘进行固定 。 [0003]但是， 上述结构之 中存在不足之处， 在对码盘进行固定时， 切割刀片可能在对码盘 外形尺寸进行切割 过程中与夹具发生碰撞， 导致切割刀片和夹具受损， 需要操作人员维修 处理， 费时费力。 [0004]因此， 有必要提供一种新的用于 显微镜下检查的光刻版夹具解决上述 技术问题。 实用新型内容 [0005]本实用新型解决的技术问题是提供一种通过在码盘底部进行吸附固定的方式来 避免与切割刀片发生碰撞， 同时能够使得光刻设备和切割设备能够进 行位置调整从而保证 码盘精度符合标准的用于 显微镜下检查的光刻版夹具。 [0006]为解决上述技术问题， 本实用新型提供的用于显微镜下检查的光刻版夹具包括输 送箱， 所述输送箱上设置有固定机构和两个调整机构； 所述固定机构包括有电机一、 螺纹长 杆、 移动块、 圆柱 块一、 固定腔、 安装槽、 电机二、 转动杆、 锥形齿轮一、 四个螺纹短杆一、 四个 锥形齿轮二、 四个夹板、 两个支撑板和长板， 所述电机一固定安装在输送箱的一侧外壁上， 所述螺纹长杆固定安装在电机一的输出轴上， 所述螺纹长杆的一端延伸至输送箱内并与输 送箱转动连接， 所述移动块螺纹安装在螺纹长杆上， 所述移动块的顶部延伸至输送箱外， 所 述圆柱块一固定安装在移动块的顶部， 所述固定腔开设在圆柱块一上， 所述安装槽开设在 固定腔的底部内壁上， 所述电机二固定安装在安装槽的底部内壁上， 所述转动杆固定安装 在电机二的输出轴 上， 所述转动杆的顶端延伸至固定腔 内， 所述锥形齿轮一固定安装在转 动杆的顶端， 四个所述螺纹短杆一均转动安装在固定腔 内， 四个所述锥形齿轮二分别固定 安装在对应的螺纹短杆一的一端， 所述锥形齿轮二与锥形齿轮一啮合， 四个所述夹板分别说　明　书 1/5 页 3 CN 216411861 U 3