(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210981898.X (22)申请日 2022.08.16 (71)申请人 成都贝瑞光电科技股份有限公司 地址 610000 四川省成 都市高新区科园南 路3号 (72)发明人 张旭川　顾元元　樊荣伟　 (74)专利代理 机构 成都慕川专利代理事务所 (普通合伙) 51278 专利代理师 冯琬茹 (51)Int.Cl. B25H 1/02(2006.01) B25H 1/10(2006.01) B25B 11/00(2006.01) G01N 21/01(2006.01) G01N 21/958(2006.01) (54)发明名称 一种适用 于精密光学元件表面疵病三维检 测的仪器 (57)摘要 本发明提供一种适用于精密光学元件表面 疵病三维检测的仪器， 涉及光学设备技术领域。 该适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪 器， 包括机架， 所述机架顶端固定连接有平台， 所 述龙门架的前端上侧设置有X轴移动机构， 所述X 轴移动机构上设置有X轴移动滑板， 所述X轴移动 滑板的前端另 一侧设置有第二Z轴移动机构， 所 述Y轴移动机构 的顶端设置有偏摆移动机构。 通 过设置X轴移动机构、 Y轴移动机构、 Z轴移动机构 和偏摆移动机构实现五轴式位移平台， 并利用手 指气缸对光学元件进行夹紧， 实现全 方位的精密 检测， 配合上二维检测模块和三维检测模块的双 重检测， 不仅大大提高检测精度， 且操作方便， 检 测效率更高。 权利要求书2页 说明书10页 附图3页 CN 115502940 A 2022.12.23 CN 115502940 A 1.一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器， 包括机架(1)， 其特征在于： 所 述机架(1)顶端固定连接有平台(2)， 所述平台(2)顶端后侧固定连接有龙 门架(3)， 所述龙 门架(3)的前端上侧设置有X轴移动机构(4)， 所述X轴移动机构(4)上设置有X轴移动滑板 (5)， 所述X轴移动滑板(5)的前端一侧设置有第一Z轴移动机构(6)， 所述X轴移动滑板(5)的 前端另一侧设置有第二Z轴移动机构(7)， 所述第一Z轴移动机构(6)的前端设置有二维检测 模块(8)， 所述第二Z轴移动机构(7)的前端设置有三 维检测模块(9)， 所述机架(1)顶端中部 设置有Y轴移动机构(10)， 所述Y轴移动机构(10)的顶端设置有偏摆移动机构(1 1)。 2.根据权利要求1所述的一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器， 其特征 在于： 所述机架(1)的内部固定连接有阻尼隔振台(12)， 所述机架(1)的内部一侧固定连接 有电控柜(13)， 所述机架(1)的底端四角均固定连接有脚垫(14)。 3.根据权利要求1所述的一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器， 其特征 在于： 所述第二Z轴移动机构(7)还包括定位板(701)和移动板(704)， 所述定位板(701)固定 连接在X轴移动滑板(5)前端顶部的一侧， 所述移动板(704)滑动连接在X轴移动滑板(5)的 表面。 4.根据权利要求3所述的一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器， 其特征 在于： 所述定位板(701)内部转动连接有螺纹杆(702)， 所述螺纹杆(702)的中部螺纹连接在 移动板(704)的内部， 所述螺纹杆(702)的顶端贯穿定位板(701)的内部并固定连接有调节 旋钮(703)， 所述定位板(701)的底端两侧均通过限位杆(705)贯穿移动板(704)的内部并延 伸至移动板(704)的下 方。 5.根据权利要求1所述的一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器， 其特征 在于： 所述Y轴移动机构(10)包括壳体(1001)和静音拖链(1009)， 所述壳体(1001)底端固定 连接在平台(2)的上表 面中部， 所述静音拖链(1009)底端一侧固定连接在平台(2)的上表 面 靠近壳体(1001)的一侧， 所述壳体(1001)的内部固定连接有若干个定子(1002)， 所述壳体 (1001)的内部两侧均固定连接有导轨(1003)， 所述导轨(1003)的表面均滑动连接有滑块 (1004)。 6.根据权利要求5所述的一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器， 其特征 在于： 所述滑块(1004)的内侧 端分别固定连接在动子(1006)的两端， 所述动子(1006)上表 面固定连接有动子座(1007)， 所述动子座(1007)的一端与静音拖链(1009)的一端固定相 连， 所述静音拖链(10 09)的顶端一侧固定连接有拖链固定 板(1010)。 7.根据权利要求5所述的一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器， 其特征 在于： 所述导轨(1003)的顶端两侧均固定连接有防撞器(1005)， 所述壳体(1001)的一端 固 定连接有传感器组件(1008)， 所述传感器组件(1008)包括两个 极限传感器和一个原点传感 器， 所述壳体(1001)的两端均固定连接有防护 罩(1011)， 所述壳体(1001)的上部固定连接 有顶盖(1012)。 8.根据权利要求1所述的一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器， 其特征 在于： 所述偏摆移动机构(11)包括第一支撑座(1101)， 所述第一支撑座(1101)固定连接在 拖链固定板(1010)的顶端一侧， 所述第一支撑座(1101)的上表 面的凹槽内通过转轴连接有 第二支撑座(1102)且转轴的一端贯穿第一支撑座(1101)的一端并固定连接有第一电机 (1103)。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115502940 A 29.根据权利要求8所述的一种适用于精密光学元件表面疵病三维检测的仪器， 其特征 在于： 所述第二支撑座(1102)的上表 面凹槽内通过转轴连接有工作台(1104)且转轴的一端 贯穿第二支撑座(1102)的一端并固定连接有第二电机(1105)， 所述工作台(1104)的顶端两 侧均固定连接有手指 气缸(1106)。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115502940 A 3