(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211165738.4 (22)申请日 2022.09.23 (71)申请人 上海御微半导体技 术有限公司 地址 201203 上海市浦东 新区中国(上海) 自由贸易试验区芳春路40 0号1幢3层 (72)发明人 田依杉　兰艳平　 (74)专利代理 机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 初春 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 一种缺陷检测系统及缺陷检测方法 (57)摘要 本发明公开了一种缺陷检测系统及缺陷检 测方法， 包括光线输出模块、 光线调节模块、 探测 模块和处理控制模块； 光线输出模块用于输出探 测光束； 光线调节模块位于探测光束的传输路径 上， 用于调节探测光束入射至待探测物， 待探测 物反射探测光束形成成像光束， 成像光束携带探 测物的缺陷信息； 探测模块位于成像光束的传播 路径上， 形成探测图像； 处理控制模块与探测模 块连接， 用于根据探测图像确定待探测物的缺陷 信息； 处理控制模块还与光线调节模块连接， 用 于根据探测需求选择照明模式， 照明模式包括明 场照明模式、 暗场照明模式以及眀场暗场混合照 明模式。 处理控制模块通过对光线调节模块的调 节， 实现探测光束完成不同的照明模式， 满足更 多样化的需求。 权利要求书2页 说明书8页 附图3页 CN 115508364 A 2022.12.23 CN 115508364 A 1.一种缺陷检测系统， 其特征在于， 包括光线输出模块、 光线调节模块、 探测模块和 处 理控制模块； 所述光线输出模块用于 输出探测光束； 所述光线调节模块位于所述探测光束的传输路径上， 用于调节所述探测光束入射至待 探测物， 所述待探测物反射所述探测光束形成成像光束， 所述成像光束携带所述探测物的 缺陷信息； 所述探测模块位于所述成像光束的传播路径上， 用于根据所述成像光束成像， 形成探 测图像； 所述处理控制模块与 所述探测模块连接， 用于根据 所述探测图像确定所述待探测物的 缺陷信息； 所述处理控制模块还与所述光线调节模块连接， 用于根据探测需求调节所述光线调节 模块的工作状态以实现不同的照明模式， 所述照明模式包括明场照明模式、 暗场照明模式 以及眀场暗场混合照明模式。 2.根据权利要求1所述的缺陷检测系统， 其特征在于， 所述光线调节模块包括透反单 元、 运动单 元、 开关单 元和反射单 元； 所述运动单元和所述开关单元分别与所述处理控制模块连接， 所述开关单元设置于所 述光线输出模块与所述反射单 元之间的光路中； 在所述眀场照明模式下， 所述处理控制模块用于控制所述运动单元带动所述透反单元 移入所述 光线输出模块与所述 开关单元之间的光路中并控制所述 开关单元关闭； 在所述暗场照明模式下， 所述处理控制模块用于控制所述运动单元带动所述透反单元 移出所述光线输出模块与所述 开关单元之间的光路中并控制所述 开关单元打开； 在所述眀场暗场混合照明模式下， 所述处理控制模块用于控制所述运动单元带动所述 透反单元移入所述 光线输出模块与所述 开关单元之间的光路中并控制所述 开关单元打开。 3.根据权利要求2所述的缺陷检测系统， 其特征在于， 在所述暗场照明模式下， 所述处 理控制模块还用于控制所述运动单元带动所述透反单元移出所述待探测物与所述探测模 块之间的光路中。 4.根据权利要求2所述的缺陷检测系统， 其特征在于， 所述反射单元包括聚焦反射单 元。 5.根据权利要求4所述的缺陷检测系统， 其特征在于， 所述 聚焦反射单元包括球面反射 镜或者抛物面反射镜 。 6.根据权利要求1所述的缺陷检测系统， 其特征在于， 所述光线输出模块包括一个点光 源和照明镜组， 所述照明镜组用于调整所述 点光源的输出光束形成平行探测光束。 7.根据权利要求1所述的缺陷检测系统， 其特 征在于， 所述处理控制模块与所述探测模块电连接或者 通信连接 。 8.一种缺陷检测方法， 应用于权利要求1 ‑7任一项所述的缺陷检测系统， 其特征在于， 所述缺陷检测方法包括： 获取探测需求； 根据所述探测需求调节所述光线调节模块的工作状态以实现不同的照明模式， 所述照权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115508364 A 2明模式包括明场照明模式、 暗场照明模式以及眀场暗场混合照明模式； 接收所述探测模块在不同照明模式下获取的探测图像并根据所述探测图像确定所述 待探测物的缺陷信息 。 9.根据权利要求8所述的检测方法， 其特征在于， 所述光线调节模块包括透反单元、 运 动单元、 开关单元和反射单元； 所述运动单元和开关单元分别与所述处理控制模块连接， 所 述开关单元设置于所述光线输出模块与所述反射单 元之间的光路中； 根据所述探测需求调节所述 光线调节模块的工作状态以实现不同的照明模式， 包括； 在眀场照明模式需求下， 控制所述运动单元带动所述透反单元移入所述光线输出模块 与所述开关单元之间的光路中并控制所述 开关单元关闭； 在暗场照明模式需求下， 控制所述运动单元带动所述透反单元移出所述光线输出模块 与所述开关单元之间的光路中并控制所述 开关单元打开； 在眀场暗场混合照明模需求下， 控制所述运动单元带动所述透反单元移入所述光线输 出模块与所述 开关单元之间的光路中并控制所述 开关单元打开。 10.根据权利要求9所述的检测方法， 其特征在于， 在暗场照明模式需求下， 控制所述运 动单元带动所述透反单元移出所述光线输出模块与所述开关单元之间的光路中并控制所 述开关单元打开， 包括： 在所述暗场照明模式需求下， 控制所述运动单元带动所述透反单元移出所述待探测物 与所述探测模块之间的光路中。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115508364 A 3