(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210739801.4 (22)申请日 2022.06.28 (71)申请人 桂林电子科技大 学 地址 541004 广西壮 族自治区桂林市金鸡 路1号 (72)发明人 李春泉　张皓　阎德劲　李雪斌　 林奈　尚玉玲　王玉斌　林宏锋　 成鹏琳　 (51)Int.Cl. H05K 7/20(2006.01) (54)发明名称 一种具有超滑表面的液冷流道散热器制造 方法 (57)摘要 本发明一种具有超滑表面的液冷流道散热 器制造方法， 先加工散热器主体的液冷流道， 利 用疏水二氧化硅纳米颗粒与聚偏二氟乙烯 （PVDF） 清 漆， 甲苯通过高速搅拌制备疏水颗粒溶 液； 通过在散热器的液冷流道表 面涂覆疏水颗粒 溶液， 加热烘干的方法制备疏水微纳结构； 通过 在疏水微纳结构中注入与传热介质不互溶的润 滑油制备超滑表面； 使具有超滑表 面的液冷流道 具备减阻， 耐压， 耐腐蚀等功能， 实现了液冷流道 散热器的综合 性能提升 。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 114980700 A 2022.08.30 CN 114980700 A 1.一种具有超滑 表面的液冷流道散热器制造方法， 其特 征在于， 包括以下步骤： （1） 进行 液冷流道散热器主体与盖 板的加工； （2） 液冷流道 表面清洗； （3） 疏水颗粒溶液的制备； （4） 疏水颗粒溶液涂覆， 加热固化； （5） 将润滑剂注入微纳结构， 压合盖 板。 2.根据权力要求1所述的一种具有超滑表面的液冷流道散热器制造方法， 其特征在于， 使用在散热器内部的液冷流道表面涂覆疏水颗粒溶液， 加热烘干的方法制备表面微纳结 构； 通过向表面微纳结构注入与传热介质不互溶， 粘度适中的润滑剂来构 造超滑表面， 使 液 冷流道具 备减阻， 耐压， 耐腐蚀等功能。 3.根据权力要求2所述的疏水颗粒溶液， 其特征在于， 利用颗粒尺度5μm的疏水二氧化 硅纳米颗粒与聚偏二氟乙烯 （PVDF） 清漆， 甲苯通过高速搅拌制备 疏水颗粒溶液。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114980700 A 2一种具有超滑表面的液冷流道散热器制造方 法 技术领域 [0001]本发明涉及 微电子传热领域， 具体涉及一种具有超滑表面的液冷流道散热器制造 方法。 背景技术 [0002]随着科学技术的进步和生产 需要， 电子设备朝着微型化和集中化方向发展， 使用 范围越来越广， 生活中处处离不开电子 设备的支持。 电子 设备物理尺寸的减小， 元件功 率的 增加， 工作条件的广泛， 使得电子设备 的工作环境越发恶劣。 针对未来电子设备微型化、 功 率高、 工作范围广的特点， 迫切需要一种适应电子 设备发展趋势的热管理系统。 超滑表面本 质上是由超疏液表面和润滑剂构成， 在超疏液表面的微纳结构中填充的润滑油代替了空 气， 从而使低表面能液体也能够以较小的角度在超滑表面滚动而不浸入到基底间隙， 从而 不会发生从Cassie ‑Baxter状态到Wenzel状态的转变。 超滑表面与超疏水或超疏液表面相 比具有： 更好的透光性， 低黏附性， 自清洁能力， 自修复能力等， 在液滴操控、 流体输运、 防结 冰、 抗菌等领域展现出极大的优势和应用前景。 因此， 提出了一种具有超滑表 面的液冷流道 散热器制 造方法， 通过在液冷流道表面加工微纳结构， 然后注入润滑油等液体取代微纳结 构间隙中的空气， 借助毛细作用将这类液体锁定在微结构 中， 并在基底形成油膜构成超滑 表面， 发生超疏水现象， 从而使 液使流道表面具备减阻， 耐压， 耐腐蚀等功能， 实现了液冷流 道散热器的综合 性能提升 。 发明内容 [0003]下雨天时很多人发现： 当水滴到荷叶表面时， 不会将荷叶打湿， 而是可以很容易的 在其表面滚动； 这是因为荷叶表面的多疣细胞形成了微米尺度的凸起， 同时细胞表面布满 了疏水的烃蜡小管； 正是荷叶表面的微结构形成了可以由水滴滚动的超疏水表面。 对于超 疏水表面， 液滴与 表面接触区域凹陷结构中可以捕捉截留大量空气， 因此固 ‑气界面很难完 全被固‑液界面所替代， 进而很难在超疏水表面发生浸湿过程； 也就是说， 水在与超疏水表 面相接触时， 表面凹槽及微突起之间会截留大量空气， 这样则在试样表面形成了一层 “气 垫”保护。 通过制备疏松多孔的基底并灌注润滑剂制成的表 面被称为超滑表面； 润滑剂的注 入， 在表面形成一层与腐蚀性溶液隔离的屏障， 超滑表面原理见图1； 由于注入的润滑剂具 有较低的表面能， 使得这层屏障具有更好的稳定性， 在高压条件下仍能保持很稳定的疏水 性能且极难被腐蚀性溶液代替； 此外， 具有流体性质的润滑剂通过表面能驱动的毛细管作 用自发地流向表面存在缺陷的区域， 从而提供自愈能力。 由于以上机制存在， 使得液体注入 的超滑表面具有减阻， 耐高压， 耐腐蚀， 自修复等功能， 前 景广阔。 [0004]因此为提升液冷流道散热器的综合性能， 以适应未来电子设备微型化、 功率高、 工 作范围广的特点， 本发明提供了一种具有超滑 表面的液冷流道散热器制造方法。 [0005]为了实现上述目的， 本发明采用的技术方案如下： 一种具有超滑表面的液冷流道 散热器制造方法， 包括以下步骤：说　明　书 1/3 页 3 CN 114980700 A 3