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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210680237.3 (22)申请日 2022.06.16 (71)申请人 西安理工大 学 地址 710048 陕西省西安市碑林区金花 南 路5号 (72)发明人 马利娥 杨斌 王强 刘善慧  邵明月 冯世林 马东昊 路正  (74)专利代理 机构 西安弘理专利事务所 61214 专利代理师 罗笛 (51)Int.Cl. G06F 30/23(2020.01) G06F 30/28(2020.01) G06F 30/17(2020.01) G06F 111/10(2020.01) G06F 113/08(2020.01)G06F 119/14(2020.01) (54)发明名称 一种计及夹带气体的导向辊处的牵引力计 算方法 (57)摘要 本发明公开了一种计及夹带气体的导向辊 处的牵引力计算方法, 具体按照以下步骤实施: 步骤1, 建立夹带气体流场特性理论模型; 步骤2, 进行薄膜与周向微槽导向辊之间的流场特性分 析; 步骤3, 进行气膜厚度计算; 步骤4, 建立牵引 力模型, 进行牵引力分析。 该计及夹带气体的导 向辊处的牵引力计算方法, 用以找到牵引力计算 办法, 实现高精度传输, 为实现薄膜的高精度传 输奠定基础。 权利要求书6页 说明书20页 附图6页 CN 114997018 A 2022.09.02 CN 114997018 A 1.一种计及夹带气体的导向辊处的牵引力计算方法, 其特征在于, 具体按照以下步骤 实施: 步骤1, 建立夹带气体流场特性理论模型; 步骤2, 进行薄膜与周向微槽导向辊 之间的流场特性分析; 步骤3, 进行气膜厚度计算; 步骤4, 建立牵引力模型, 进行牵引力分析。 2.根据权利要求1所述的一种计及夹带气体的导向辊处的牵引力计算方法, 其特征在 于, 在所述 步骤1中, 建立夹带气体流场特性理论模型 具体按照以下步骤依次实施: 步骤1.1, 建立薄膜挠度方程; 步骤1.2, 建立夹带气体雷诺方程; 步骤1.3, 进行接触力学分析; 步骤1.4, 建立气膜厚度方程; 步骤1.5, 确立 边界条件。 3.根据权利要求2所述的一种计及夹带气体的导向辊处的牵引力计算方法, 其特征在 于, 在所述步骤2中, 进行薄膜与周向微槽导向辊之间的流场特性分析, 具体按照以下步骤 依次实施: 步骤2.1, 进行方程无量纲处理; 引入无量纲参数对薄膜挠度方程、 夹带气体的雷诺方 程、 气膜厚度方程、 边界条件进行 无量纲处 理。 引入无量纲变量: 式中: H为无量纲气膜厚度, P为无量纲气体压强, W为无量纲薄膜挠度, X为无量纲横坐 标, Y为无量纲纵坐标, λ为无量纲薄膜宽度, β 为无量纲包角, ψ为无量纲导 向辊的形函数, ε 为薄膜参数; 得出无量纲化的气膜厚度方程 为: H=W+ ψ 步骤2.2, 进行方程离散; 采用五点差分格式离散方程, 方程中的变量在节点处的偏导 数采用中心差分形式表示 为: 权 利 要 求 书 1/6 页 2 CN 114997018 A 2采用上述五点差分格式离散无量纲薄膜挠度方程和无量纲雷诺方程, 其中i, j分别代 表x方向和y方向。 薄膜挠度方程离 散为: 式中 式 的第一项离 散为: 第二项离 散为: 第三项离 散为: 将上述各式代入离 散后的雷诺兹方程中, 得到节点(i, j)处的无量纲Pi,j表达式: Ci,jPi‑1,j‑Ai,jPi,j+Bi,jPi+1,j++Di,jPi,j+1+Ei,jPi,j‑1=Fi.j          (5) 式中:权 利 要 求 书 2/6 页 3 CN 114997018 A 3

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