(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211143636.2 (22)申请日 2022.09.20 (71)申请人 上海润理真空技 术有限公司 地址 201900 上海市宝山区威 航路218弄5 号1层 (72)发明人 胡荣朝　曹超　戈松雨　罗有利　 许治伟　解修军　 (51)Int.Cl. G06F 30/20(2020.01) G06F 119/02(2020.01) (54)发明名称 一种无振动维 持真空方法及其装置 (57)摘要 本申请涉及真空实验设备领域， 公开了一种 无振动维持真空方法， 包括如下步骤， S1， 制作真 空维持罐， 真空维持罐内设置有真空腔和超低温 介质容纳腔， 真 空腔内壁靠近超低温介质容纳腔 处设置有活性炭块， 活性炭块与真空腔内壁接 触； S2， 真空腔通过管道 同时连接抽真空设备和 实验密闭容器； S3， 启动抽真空设备， 将实验密闭 容器内抽真空； S4， 关闭抽真空设备， 向超低温介 质容纳腔内注入超低温介质； S5， 启动实验密闭 容器内的实验。 本申请在维持密闭容器内真空状 态的同时， 避免振动对实验产生不利影响， 大大 提升实验的精度。 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 CN 115495902 A 2022.12.20 CN 115495902 A 1.一种无振动维持真空方法， 其特 征在于： 包括如下步骤， S1， 制作真空维持罐(1)， 真空维持罐(1)内设置有真空腔(2)和超低温介质容纳腔(3)， 真空腔(2)内壁靠近超低温介质容纳腔(3)处设置有活性炭块(4)， 活性炭块(4)与真空腔 (2)内壁接触； S2， 将真空腔(2)通过 管道同时连接抽真空设备和实验密闭容器； S3， 启动抽真空设备， 将实验密闭容器内抽真空； S4， 关闭抽真空设备， 向超低温介质容纳腔(3)内注入 超低温介质； S5， 启动实验密闭容器内的实验。 2.一种无振动维持真空方法， 其特征在于： 于真空腔(2)内吊设超低温介质容纳罐(7)， 超低温介质容纳腔(3)设置 于超低温介质容纳罐(7)内。 3.一种无振动维持真空方法， 其特征在于： 所述真空维持罐(1)上设置有用于检测超低 温介质液位的液位 监测仪(17)， 超低温介质为液态气体。 4.一种无振动维持真空的装置， 其特征在于： 包括真空维持罐(1)， 所述真空维持罐(1) 内设置有真空腔(2)和超低温介质容纳腔(3)， 所述真空腔(2)内壁于靠近所述超低温介质 容纳腔(3)处设置有活性炭块(4)， 所述真空维持罐(1)上设置有与所述真空腔(2)连通的抽 真空管(5)和连接管(6)。 5.根据权利要求3所述的一种无振动维持真空的装置， 其特征在于： 所述真空腔(2)内 吊设有超低温介质容纳罐(7)， 所述超低温介质容纳腔(3)设置于所述超低温介质容纳罐 (7)内。 6.根据权利要求4所述的一种无振动维持真空 的装置， 其特征在于： 所述超低温介质容 纳罐(7)底部开设有容纳槽(8)， 所述活性炭块(4)设置于所述容纳槽(8)内， 所述容纳槽(8) 开口处可拆卸 安装有用于固定所述活性炭块(4)的封板(9)， 所述封板(9)上开设有与所述 容纳槽(8)连通的通 孔(10)。 7.根据权利要求4或5所述的一种无振动维持真空的装置， 其特征在于： 所述超低温介 质容纳罐(7)底部固定有导 温件(11)， 所述导 温件(11)底部开设有多个容纳缝(12)， 所述容 纳缝(12)内设置有活性炭棒(13)， 所述导温件(11)外套设有用于将所述活性炭棒(13)固定 在所述容纳缝(12)内的网罩(14)。 8.根据权利要求4所述的一种无振动维持真空的装置， 其特征在于： 所述真空维持罐 (1)上设置有便于向所述超低温介质容纳罐(7)内注入超低温介质的注入斗(15)， 所述超低 温介质容纳罐(7)上设置有用于平衡气压的排气管(16)。 9.根据权利要求3所述的一种无振动维持真空的装置， 其特征在于： 所述抽真空管(5) 和所述连接管(6)上均安装有真空阀(18)， 所述真空维持罐(1)上设置有用于检测超低温介 质液位的液位 监测仪(17)。 10.根据权利要求3所述的一种无振动维持真空的装置， 其特征在于： 所述真空维持罐 (1)上设置有与所述真空腔(2)连通的破空阀(19)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115495902 A 2一种无振动维持真空方 法及其装 置 技术领域 [0001]本申请涉及真空实验设备 领域， 尤其是 涉及一种无振动维持真空方法及其装置 。 背景技术 [0002]实验室中， 常常需要利用真空设备制造出真空环境， 以方便获取实验在真空环境 下的实验结果， 其中， 最 为常见的实验就有光在真空环境中传播的实验。 [0003]现有技术中， 进行真空环境光学实验的操作方式为： 预先在一个密闭容器内固定 好需要的光学设备， 再将抽真空设备与该密闭容器连接， 启动抽真空设备工作， 将密闭容器 内制造成真空环境， 最后， 给密闭容器内的光学设备 供电， 观察密闭容器内的实验情况。 [0004]针对上述中的相关技术， 实验时， 若实验会产生气体， 就会破坏实验密闭容器内的 真空环境， 影响实验结果的精度， 故实验过程中， 抽真空设备需要一直保持工作， 而抽真空 设备工作状态下无法避免地振动， 其振动会通过管道连接传动给密闭容器， 继而带动密闭 容器内的实验设备振动， 最终影响密闭容器内光学成像的稳定性， 降低实验准确度。 发明内容 [0005]为了在维持密闭容器内真空状态的同时， 避免振动对实验产生不利影响， 本申请 提供一种无振动维持真空方法及其装置 。 [0006]本申请提供的一种无振动维持真空方法采用如下的技 术方案： 一种无振动维持真空方法， 包括如下步骤， S1， 制作真空维持罐， 真空维持罐内设置有 真空腔和超低温介质容纳腔， 真空腔内 壁靠近超低温介质容纳腔处设置有活性炭块， 活性炭块与真空腔内壁接触； S2， 将真空腔通过 管道同时连接抽真空设备和实验密闭容器； S3， 启动抽真空设备， 将实验密闭容器内抽真空； S4， 关闭抽真空设备， 向超低温介质容纳腔内注入 超低温介质； S5， 启动实验密闭容器内的实验。 [0007]通过采用上述技术方案， 在实验密闭容器中实验操作开始前， 利用抽真空设备将 真空腔和实验密闭容器内抽真空， 再将抽真空设备关停， 向超低温介质容纳罐内注入超低 温介质， 接着于实验密闭容器中开展实验。 超低 温介质将吸收超低 温介质容纳罐以及活性 炭块的温度， 使活性炭块处于超低温状态下， 激发其超强的吸附性能， 吸附实验密闭容器中 实验所产生的气体， 从而确保实验过程中实验密闭容器中的真空度， 有利于提升实验结果 的精度， 同时， 由于实验时抽真空设备 处于停止工作状态， 实验结果不会受振动因素而产生 误差， 进一 步提升实验结果的精度。 [0008]优选的， 于真空腔内吊设超低温介质容纳罐， 所述超低温介质容纳腔设置于超低 温介质容纳罐内。 [0009]通过采用上述技术方案， 利用真空腔给超低温介质容纳罐隔热， 尽可能地减少超 低温介质从环境中吸热， 有利于超低温介质更加长久地维持活性炭块处于超低温激活状说　明　书 1/4 页 3 CN 115495902 A 3