(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211246268.4 (22)申请日 2022.10.12 (71)申请人 武汉普赛斯电子技 术有限公司 地址 430000 湖北省武汉市东湖新 技术开 发区光谷大道308号光谷动力节能环 保产业园9栋4楼 (72)发明人 马超　唐朋　黄秋元　周鹏　 (74)专利代理 机构 深圳紫藤知识产权代理有限 公司 44570 专利代理师 何志军 (51)Int.Cl. G01M 11/00(2006.01) G01M 11/02(2006.01) H05K 7/20(2006.01) (54)发明名称 光器件高低温跟踪误差测试装置、 方法及计 算机存储介质 (57)摘要 本申请公开了一种光器件高低温跟踪误差 测试装置、 方法及计算机存储介质， 装置包括： 多 个导热垫块， 设置于上盖板与下盖板形成的盖合 空间中， 各导热垫块具有用于放置待测光器件的 凹槽； 与多个导热垫块贴合设置的均温板， 设置 于导热垫块与下盖板之间； 与均温板贴合设置的 半导体制冷器， 设置于均温板与下盖板之间； 与 半导体制冷器 贴合设置的水冷板， 设置于半导体 制冷器与下盖板之间。 本申请实施例通过在上盖 板与下盖板形成的盖合空间中， 设置用于容置光 器件的导热垫块， 并通过均温板对导热垫块进行 升降温， 使得光器件的升降温更快， 提高了光器 件的TE测试的效率， 并且均温板可降低不同导热 垫块之间的温差， 提高光器件批量测试的准确 度。 权利要求书2页 说明书8页 附图3页 CN 115326358 A 2022.11.11 CN 115326358 A 1.一种光器件高低温跟踪误差测试装置， 其特 征在于， 所述装置包括： 工作台， 包括上盖 板和下盖 板， 上盖板用于与下盖 板盖合； 多个导热垫块， 设置于上盖板与下盖板形成的盖合空间中， 各导热垫块具有用于放置 待测光器件的凹槽， 凹槽包括用于容置供电接头和光纤接头的开口， 供电接头用于 向待测 光器件供电； 均温板， 设置 于导热垫块与下盖 板之间， 且与多个导热垫块贴合设置； 半导体制冷器， 设置 于均温板与下盖 板之间， 且与 均温板贴合设置； 水冷板， 设置于半导体制冷器与下盖板之间， 且与半导体制冷器贴合设置， 水冷板分别 与进水管和出水管连接， 形成水冷循环回路。 2.如权利要求1所述的光器件高低温跟踪误差测试装置， 其特征在于， 所述装置还包 括： 第一温度传感器， 与 均温板贴合设置， 用于检测均温板的温度； 半导体制冷器， 连接有半导体制冷器温控器， 半导体制冷器温控器与第一温度传感器 连接， 用于根据第一温度传感器检测到的温度和待测 光器件需要达到的目标温度， 调节半 导体制冷器的工作电流。 3.如权利要求1所述的光器件高低温跟踪误差测试装置， 其特征在于， 所述装置还包 括： 加热片， 与水冷板贴合设置， 用于对水冷板进行加热。 4.如权利要求3所述的光器件高低温跟踪误差测试装置， 其特征在于， 所述装置还包 括： 第二温度传感器， 与水冷板贴合设置， 用于检测水冷板的温度； 加热片， 还用于在第二温度传感器检测到的温度大于温度阈值时， 停止对水冷板进行 加热。 5.一种光器件高低温跟踪误差测试方法， 其特征在于， 应用于如权利要求2至4中任一 项光器件高低温跟踪误差测试装置， 所述方法包括： 获取待测光器件需要达 到的目标温度； 在第一温度传感器检测到的温度小于目标温度时， 控制半导体制冷器中与均温板贴合 的表面进行制热， 直至第一温度传感器 检测到的温度等于目标温度； 在第一温度传感器检测到的温度等于目标温度时， 获取待测光器件连接的光纤的输出 功率； 根据待测光器件连接的光纤的输出功率， 确定待测光器件的跟踪误差 。 6.如权利要求5所述的光器件高低温跟踪误差测试方法， 其特征在于， 所述方法还包 括： 在第一温度传感器检测到的温度小于目标温度时， 控制水冷板停止进行水冷循环， 并 控制加热片对水冷板进行加热。 7.如权利要求6所述的光器件高低温跟踪误差测试方法， 其特征在于， 所述在第 一温度 传感器检测到的温度小于目标温度时， 控制水冷板停止进行水冷循环， 并控制加热片对水 冷板进行加热， 包括： 在第一温度传感器检测到的温度小于目标温度时， 获取目标温度与第 一温度传感器检权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115326358 A 2测到的温度之间的温度差值； 根据温度差值， 确定待测光器件的升温速率； 在升温速率小于预设速率时， 控制水冷板停止进行水冷循环， 并控制加热片对水冷板 进行加热。 8.如权利要求7所述的光器件高低温跟踪误差测试方法， 其特征在于， 所述根据温度差 值， 确定待测光器件的升温速率之后， 还 包括： 在升温速率大于或等于预设速率时， 控制水冷板进行 水冷循环。 9.如权利要求5所述的光器件高低温跟踪误差测试方法， 其特征在于， 所述获取待测光 器件需要达 到的目标温度之后， 还 包括： 在第一温度传感器检测到的温度大于目标温度时， 控制半导体制冷器中与均温板贴合 的表面进行制冷， 并控制水冷板进行水冷循环， 直至第一温度传感器检测到的温度等于目 标温度； 在控制半导体制冷器中与均温板贴合的表面进行制冷时， 根据第 一温度传感器检测到 的温度与待测光器件需要达到的目标温度之间的温度差值， 调节半导体制冷器的工作电 流。 10.一种计算机可读存储介质， 其特征在于， 其上存储有计算机程序， 所述计算机程序 被处理器进 行加载， 以执行权利要求5至9中任一项 所述的光器件高低温跟踪误差测试方法 中的步骤。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115326358 A 3