(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211252492.4 (22)申请日 2022.10.13 (71)申请人 江西维易科半导体科技有限公司 地址 334000 江西省上饶市广丰区上饶高 新区霞峰电子信息产业园 申请人 江西维易尔半导体设备有限公司 (72)发明人 贺武峰　吴想　 (74)专利代理 机构 南昌合达信知识产权代理事 务所(普通 合伙) 36142 专利代理师 吴凑生 (51)Int.Cl. H05K 7/20(2006.01) (54)发明名称 一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装 置 (57)摘要 本发明涉及显影机技术领域， 尤其涉及一种 用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置。 本发明 提供一种水在循环冷却时效果稳定的用于匀胶 显影机热处理模块的冷却装置。 一种用于匀胶显 影机热处理模块的冷却装置， 包括有： 框体和热 处理模块， 框体上部内侧安装有热处理模块； I型 导管， 框体上部左前侧和右后侧均连接有I型导 管； Z型导管， 框体右部后上侧连接有Z型导管。 第 一活塞杆挤压冷却水箱左部的水， 水流经连接 管、 I型导管、 Z型导管、 L型导管和冷凝 管， 再重新 进入冷却水箱右部， 实现水循环对 热处理模块进 行降温散热， 并齿杆通过齿轮带动冷凝管转动， 调节冷凝 管与热处理模块的接触面， 使得水在循 环冷却时效果稳定 。 权利要求书3页 说明书6页 附图13页 CN 115515394 A 2022.12.23 CN 115515394 A 1.一种用于匀胶显影机热处 理模块的冷却装置， 其特 征在于： 包括有： 框体(1)和热处 理模块(2)， 框体(1)上部内侧安装有热处 理模块(2)； I型导管(3)， 框体(1)上部左前侧 和右后侧均连接有I型导管(3)； Z型导管(4)， 框体(1)右部后上侧连接有Z型导管(4)； L型导管(5)， 框体(1)左部后上侧连接有L型导管(5)； 冷凝管(6)， L型导管(5)右部与前侧的I型导管(3)左部之间转动式连通有冷凝管(6)， I 型导管(3)之间转动式连通有冷凝管(6)， 后侧的I型导管(3)右部与Z 型导管(4)前部之间转 动式连通有冷凝管(6)， 冷凝管(6)均 与热处理模块(2)接触； 循环机构(7)， 框体(1)后侧设有用于通过水循环对热处理模块(2)进行降温散热的循 环机构(7)； 旋转机构(8)， 循环机构(7)与Z型导管(4)和L型导管(5)连通， 框体(1)上部设有用于水 在循环冷却时效果稳定的旋转机构(8)。 2.如权利要求1所述的一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置， 其特征在于： 循环 机构(7)包括有： 冷却水箱(71)， 框体(1)后侧安装有冷却水箱(71)； 气缸(72)， 冷却水箱(71)左侧安装有气缸(72)； 第一活塞杆(73)， 冷却水箱(71)顶部左侧滑动式连接有第一活塞杆(73)， 第一活塞杆 (73)顶部与气缸(72)伸缩杆 连接； 连接管(74)， 冷却水箱(71)底部左侧与L型导管(5)之间连通有连接管(74)， 冷却水箱 (71)顶部右侧与Z型导管(4)之间连通有连接管(74)； 挡板(75)， 冷却水箱(71)中间滑动式连接有挡板(75)； 管道(76)， 冷却水箱(71)顶部左侧连通有管道(76)， 冷却水箱(71)对水进行冷却， 气缸 (72)驱动第一活塞杆(73)进行升降， 第一活塞杆(73)向下移动挤压冷却水箱(71)左部的 水， 水流经连接管(74)、 I型导管(3)、 Z型导管(4)、 L型导管(5)和冷凝管(6)， 水通过冷凝管 (6)对热处 理模块(2)进行降温散热。 3.如权利要求1所述的一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置， 其特征在于： 旋转 机构(8)包括有： 齿轮(81)， 冷凝管(6)后部均连接有 齿轮(81)； 齿杆(82)， 框体(1)后部右上侧滑动式连接有 齿杆(82)， 齿杆(82)与齿轮(81)啮合； 把手(83)， 齿杆(82)右侧连接有把手(83)， 通过把手(83)手动左右移动 齿杆(82)， 齿杆 (82)通过齿轮(81)带动冷凝管(6)转动， 调节冷凝管(6)与热处 理模块(2)的接触面。 4.如权利要求2所述的一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置， 其特征在于： 还包 括有用于加快冷却水箱(71)右部的水流至 冷却水箱(71)左部的推动机构(9)， 推动机构(9) 包括有： 第二活塞杆(9 1)， 冷却水箱(71)顶部左侧滑动式连接有用于挤压冷却水箱(71)右部的 水流至冷却水箱(71)左部的第二活塞杆(91)， 右侧的连接管(74)下部穿过第二活塞 杆(91) 下部； 第一拉伸弹簧(92)， 第二活塞杆(91)上部与冷却水箱(71)顶部之间连接有第一拉伸弹 簧(92)， 第一拉伸弹簧(9 2)套在第二活塞杆(91)上部；权　利　要　求　书 1/3 页 2 CN 115515394 A 2导向轮(94)， 框体(1)后壁上侧连接有两个导向轮(94)； 拉绳(93)， 第一活塞杆(73)顶部与第二活塞杆(91)顶部之间连接有拉绳(93)， 拉绳 (93)绕在两个导向轮(94)上， 第一活塞杆(73)向上移动， 拉绳(93)被放松， 在第一拉伸弹簧 (92)复位的作用下带动第二活塞 杆(91)向下移动， 第二活塞杆(91)挤压 冷却水箱(71)右部 的水流至冷却水箱(71)左部 。 5.如权利要求3所述的一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置， 其特征在于： 还包 括有用于冷凝管(6)对热处理模块(2)进行均衡降温的震动机构(10)， 震动机构(10)包括 有： 震动杆(101)， 框体(1)上部后侧滑动式连接有用 于敲击后侧的I型导管(3)、 Z型导管 (4)和L型导管(5)的震动杆(101)， 震动杆(101)为横向排列， 左侧的震动杆(101)顶部与L型 导管(5)接触， 中间的震动杆(101)顶部与后侧的I型导管(3)接触， 右侧的震动杆(101)顶部 与Z型导管(4)接触； 第一压缩弹簧(102)， 震动杆(101)上部均与框体(1)之间连接有第一压缩弹簧(102)， 第一压缩弹簧(102)套在震动杆(101)上； 连接板(103)， 震动杆(101)底部之间连接有连接 板(103)； 滑杆(104)， 框体(1)后部右上侧滑动式连接有滑杆(104)， 滑杆(104)位于齿杆(82)的 下侧， 滑杆(104)右侧与把手(83)连接， 滑杆(104)和连接板(103)上都均匀间隔连接有凸 块， 滑杆(104)上的凸块左右移动与连接板(103)上的凸块接触， 把手(83)带动滑杆(104)左 右移动， 滑杆(104)上的凸块与连接板(103)上的凸块配合， 在第一压缩弹簧(102)复位的作 用下带动震动 杆(101)向上移动敲击I型导管(3)、 Z型导管(4)和后侧的L型导管(5)， I型导 管(3)、 Z型导管(4)和后侧的L型导管(5)震动混合内部的水。 6.如权利要求2所述的一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置， 其特征在于： 还包 括有用于加快水的冷却的混合机构(11)， 混合机构(11)包括有： 电机(111)， 冷却水箱(71) 底部右侧安装有电机(1 11)； 混合杆(112)， 冷却水箱(71)底部左右两侧均转动式连接有用于混合冷却水箱(71)内 的水的混合杆(1 12)， 右侧的混合杆(1 12)下端与电机(1 11)的输出轴通过 联轴器连接； 传动带(1 13)， 混合杆(1 12)下部通过传动轮绕有传动带(1 13)。 7.如权利要求2所述的一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置， 其特征在于： 还包 括有用于实现挡板(75)自动向上移动进行放水的带动机构(12)， 带动机构(12)包括有： 固定斜块(121)， 挡板(75)左壁上侧连接有固定斜 块(121)； 凸杆(122)， 框体(1)后壁中部连接有凸杆(12 2)； 固定直杆(123)， 第一活塞杆(73)上部右侧连接有固定直杆(123)； 限位板(124)， 固定直杆(123)右部滑动式连接有限位板(124)， 限位板(124)右侧为弧 形设置， 限位板(124)向上移动与凸杆(12 2)接触， 限位板(124)位于固定斜 块(121)下侧； 第二压缩弹簧(125)， 限位板(124)左部与固定直杆(123)右侧之间连接有两个第二压 缩弹簧(125)， 两个第二压缩弹簧(125)为前后对称设置， 第二压缩弹簧(125)套在限位板 (124)上； 第二拉伸弹簧(126)， 固定斜块(121)底部与冷却水箱(71)顶部之间连接有第二拉伸弹权　利　要　求　书 2/3 页 3 CN 115515394 A 3