(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211324291.0 (22)申请日 2022.10.27 (66)本国优先权数据 202210147708.4 202 2.02.17 CN (71)申请人 哈尔滨工业大 学 （深圳） 地址 518000 广东省深圳市南 山区桃源街 道深圳大 学城哈尔滨工业大 学校区 (72)发明人 李明雨　崔鹏　祝温泊　 (74)专利代理 机构 深圳市添源创鑫知识产权代 理有限公司 4 4855 专利代理师 周椿 (51)Int.Cl. H05K 7/20(2006.01) H01F 41/02(2006.01) (54)发明名称 一种小尺寸的基于微流道的铁氧体散热系 统及其制备方法 (57)摘要 本发明提供了一种小尺寸的基于微流道的 铁氧体散热系统， 包括铁氧体， 所述铁氧体的表 面上设有凹槽， 所述凹槽上设有微流道管， 所述 微流道管内设有冷却液。 本发明还提供了一种小 尺寸的基于微流道的铁氧体散热系统的制备方 法。 本发明的有益效果是： （1） 有效减少工作过程 的热累积， 极大提升高温服役能力； （2） 铁氧体与 散热系统复合模块减少了约50% 的体积， 更加适 用于高集成密度的数字能源电路的聚焦加热与 焊接。 权利要求书1页 说明书6页 附图3页 CN 115551321 A 2022.12.30 CN 115551321 A 1.一种小尺寸的基于微流道的铁氧体散热系统， 其特征在于： 包括铁氧体， 所述铁氧体 的表面上设有凹槽， 所述凹槽上设有微 流道管， 所述 微流道管内设有冷却液。 2.根据权利要求1所述的小尺寸的基于微流道的铁氧体散热系统， 其特征在于： 所述凹 槽为U型凹槽或弧形凹槽， 直径 尺寸在1 μm ‑100 μm之间。 3.根据权利要求1所述的小尺寸的基于微流道的铁氧体散热系统， 其特征在于： 所述凹 槽的间距在2 μm ‑500 μm之间。 4.根据权利要求1所述的小尺寸的基于微流道的铁氧体散热系统， 其特征在于： 所述微 流道管的外表面 直径与所述凹槽的内表面 直径相同。 5.根据权利要求1所述的小尺寸的基于微流道的铁氧体散热系统， 其特征在于： 所述铁 氧体为具有导磁性能的磁性材 料制成的软磁铁氧体。 6.根据权利要求1所述的小尺寸的基于微流道的铁氧体散热系统， 其特征在于： 所述微 流道管的入口设有 进口阀门， 所述 微流道管的出口设有出口阀门。 7.根据权利要求6所述的小尺寸的基于微流道的铁氧体散热系统， 其特征在于： 所述进 口阀门采用高密封性非金属流体阀门， 所述出口阀门采用高密封性非金属流体阀门。 8.一种如权利要求1至7中任一项所述的小尺寸的基于微流道的铁氧体散热系统的制 备方法， 其特 征在于， 包括以下步骤： S1、 在铁氧体的表面加工凹槽； S2、 通过增材制造 工艺在凹槽上成型微 流道管， 然后在微 流道管内通入冷却液。 9.根据权利要求8所述的小尺寸的基于微流道的铁氧体散热系统的制备方法， 其特征 在于： 在步骤S1中， 加工完凹槽后， 对凹槽的表面进行微细加工， 为微流道管的增材制造提 供高导热平 滑界面； 所述凹槽均匀的布满在所述铁氧体的表面。 10.根据权利要求8所述的小尺寸的基于微流道的铁氧体散热系统 的制备方法， 其特征 在于： 在步骤S2中， 微流道管的成型过程为： 先在凹槽中填充部分微流道管， 再填充完整圆 环管型的微流道管。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115551321 A 2一种小尺寸 的基于微流道的铁氧体散热系统及其制备方 法 技术领域 [0001]本发明涉及 导磁体散热系统， 尤其涉及一种小尺寸的基于微流道的铁氧体散热系 统及其制备 方法。 背景技术 [0002]铁氧体是一种具有磁性的金属及其合金， 因其电阻率高， 绝缘性能好和磁导率高 等优点， 广泛应用于新能源汽车、 5G通讯、 互联网等领域。 但在高频电磁场作用下仍会产生 较高温度， 而铁氧体的磁导率会随着温度的升高而下降， 当铁氧体温度高于材料 的居里温 度时， 磁导体失效。 因此， 铁氧体工作时热量的累积会极大 的限制铁氧体的应用与推广， 甚 至对大功率高集成电子器件产生破坏性的影响。 现有的解决方法主要 是在铁氧体表面安装 散热器， 这种被动式散热设计， 不仅散热效率低， 而且增大了铁氧体模块的体积， 极大限制 了铁氧体在高集成微纳精密领域的应用。 发明内容 [0003]为了解决现有技术中的问题， 本发明提供了一种小尺寸的基于微流道的铁氧体散 热系统及其制备 方法。 [0004]本发明提供了一种小尺寸的基于微流道的铁氧体散热系统， 包括铁氧体， 所述铁 氧体的表面上设有凹槽， 所述凹槽上设有微 流道管， 所述 微流道管内设有冷却液。 [0005]作为本发明的进一步改进， 所述 凹槽为U型凹槽 或弧形凹槽， 直径尺寸在1 μm ‑100 μ m之间。 [0006]作为本发明的进一 步改进， 所述凹槽的间距在2 μm ‑500 μm之间。 [0007]作为本发明的进一步改进， 所述微流道管的外表面直径与所述凹槽的内表面直径 相同。 [0008]作为本发明的进一步改进， 所述铁氧体为具有导磁性能的磁性材料制成的软磁铁 氧体， 主要为锌、 锰、 镁、 锂等 合金材料制成的具有导磁性能的磁性材 料。 [0009]作为本发明的进一步改进， 所述微流道管的入口设有进口阀门， 所述微流道管的 出口设有出口阀门。 [0010]作为本发明的进一步改进， 所述进口阀门采用高密封性非金属流体阀门， 所述出 口阀门采用高密封性非金属流体阀门。 [0011]本发明还提供了一种小尺寸的基于微流道的铁氧体散热系统的制备方法， 包括以 下步骤： S1、 在铁氧体的表面加工凹槽； S2、 通过增材制造 工艺在凹槽上成型微 流道管， 然后在微 流道管内通入冷却液。 [0012]作为本发明的进一步改进， 所述凹槽的制作工艺以激光刻蚀或微型机加工作为优 选。 [0013]作为本发明的进一步改进， 所述微流道采用增材制造 的方式制作， 其材料选用耐说　明　书 1/6 页 3 CN 115551321 A 3