(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221644363.5 (22)申请日 2022.06.28 (73)专利权人 四川雅吉 芯电子科技有限公司 地址 625000 四川省雅 安市经开区园区大 道创业孵化园单层厂房1 1栋 (72)发明人 黄小华　 (74)专利代理 机构 成都乐易联创专利代理有限 公司 51269 专利代理师 陈仁平 (51)Int.Cl. F16M 11/04(2006.01) F16M 11/18(2006.01) F16M 13/02(2006.01) H01L 21/66(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于 外延炉的监测装置 (57)摘要 本实用新型提供一种用于外延炉的监测装 置包括： 炉体； 把手， 所述把手的底部固定连接于 炉体的顶部； 调节组件， 所述调节组件的底部设 置于炉体的顶部， 所述调节组件包括安装架， 所 述安装架的底部设置于炉体的顶部， 所述安装架 的顶部转动连接有转动盘， 所述转动盘的底部贯 穿安装架的顶部且延伸至安装架的内部， 所述转 动盘的底部固定连接有螺纹杆。 本实用新型提供 一种用于外延炉的监测装置， 通过螺纹杆的转动 带动螺块向下进行移动， 螺块的移动带动安装板 向下进行移动， 进而调节金属温度计工作时的高 度位置， 操作简单便捷， 十分便于调节金属温度 计的工作位置， 便于工作人员对炉内温度进行监 测。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 218064109 U 2022.12.16 CN 218064109 U 1.一种用于 外延炉的监测装置， 其特 征在于， 包括： 炉体(1)； 把手(2)， 所述 把手(2)的底部固定连接 于炉体(1)的顶部； 调节组件(3)， 所述调节组件(3)的底部设置于炉体(1)的顶部， 所述调节组件(3)包括 安装架(31)， 所述安装架(31)的底部设置于炉体(1)的顶部， 所述安装架(31)的顶部转动连 接有转动盘(32)， 所述转动盘(32)的底部贯穿安装架(31)的顶部且延伸至安装架(31)的内 部， 所述转动盘(32)的底部固定连接有螺纹杆(33)， 所述螺纹杆(33)的底端与安装架(31) 内壁的底部转动连接， 所述螺纹杆(3 3)的周侧面螺纹连接有螺块(34)； 安装组件(4)， 所述 安装组件(4)的左侧固定连接 于调节组件(3)的右侧。 2.根据权利要求1所述的用于外延炉的监测装置， 其特征在于， 所述螺块(34)的正面和 背面均固定连接有凸块(35)， 所述凸块(35)的周侧面与安装架(31)的内侧滑动连接， 所述 安装架(31)的内侧开设有滑动槽(3 6)。 3.根据权利要求1所述的用于外延炉的监测装置， 其特征在于， 所述安装组件(4)包括 横板(41)， 所述横板(41)的左侧固定连接于安装架(31)的右侧， 所述横板(41)的内壁滑动 连接有两个滑动块(42)， 两个所述滑动块(42)的正 面和背面均固定连接有凸板(43)。 4.根据权利要求3所述的用于外延炉的监测装置， 其特征在于， 四个所述凸板(43)的周 侧面与横板(41)的内侧滑动连接， 两个所述滑动块(42)相离的一侧均固定连接有弹簧 (44)， 两个所述弹簧(4 4)相离的一侧与横板(41)的内侧固定连接 。 5.根据权利要求4所述的用于外延炉的监测装置， 其特征在于， 两个所述滑动块(42)的 底部均固定连接有夹持板(45)， 两个所述夹持板(45)相离的一侧均固定连接有拉环(46)， 所述横板(41)的内侧开设有滑槽(47)。 6.根据权利要求1所述的用于外延炉的监测装置， 其特征在于， 所述螺块(34)的左侧固 定连接有安装板(5)， 所述安装板(5)的内侧固定连接有金属温度计(6)， 所述安装板(5)顶 部的左侧固定连接有监测装置(7)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218064109 U 2一种用于外延炉的监测装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及外延炉领域， 尤其涉及一种用于 外延炉的监测装置 。 背景技术 [0002]为了加工出高性能的半导体器件， 一般采用需要采用外延工艺在衬底材料上外延 生长一层电阻率和厚度可控的高质量单 晶层， 以提供高一致性的外延材料， 上述外延工艺 工作时， 则需要 使用到外延炉。 [0003]外延炉通过感应线圈对石墨基座加热， 通入相关气源， 气源分解沉积在衬底表层， 形成目标外延层。 由于温度对生长速率、 杂质掺杂、 衬底自掺杂影响很大， 因此在外延过程 中温区分布对外延参数的一 致性影响较大。 [0004]在相关技术中， 外延炉在工作的过程中， 需要对内部的温度进行监测。 然而， 现有 的部分监测设备在使用的过程中， 不便于调节温度计的工作位置， 在调节的过程中需要花 费大量的时间和精力。 以及不便于进行快速安装， 在安装的过后才能中需要花费大量的时 间， 进而导致工作人员的工作效率较低。 [0005]因此， 有必要提供一种用于 外延炉的监测装置解决上述 技术问题。 实用新型内容 [0006]本实用新型提供一种用于外延炉的监测装置， 解决了在相关技术中， 现有的部分 监测设备在使用时不便 于调节温度计的工作位置， 以及不便 于进行快速安装的问题。 [0007]为解决上述技术问题， 本实用新型提供的一种用于外延炉的监测装置， 包括： 炉 体； [0008]把手， 所述 把手的底部固定连接 于炉体的顶部； [0009]调节组件， 所述调节组件的底部设置于炉体的顶部， 所述调节组件包括安装架， 所 述安装架的底部设置于炉体的顶部， 所述安装架的顶部转动连接有转动盘， 所述转动盘的 底部贯穿安装架的顶部且延伸至安装架的内部， 所述转动盘的底部固定连接有螺纹杆， 所 述螺纹杆的底端与安装架内壁的底部转动连接， 所述螺纹杆的周侧面螺纹连接有螺块； [0010]安装组件， 所述 安装组件的左侧固定连接 于调节组件的右侧。 [0011]优选的， 所述螺块的正面和背面均 固定连接有凸块， 所述凸块的周侧面与安装架 的内侧滑动连接， 所述 安装架的内侧开设有滑动槽 。 [0012]优选的， 所述安装组件包括横板， 所述横板的左侧固定连接于安装架的右侧， 所述 横板的内壁滑动连接有两个滑动块， 两个所述滑动块的正 面和背面均固定连接有凸板 。 [0013]优选的， 四个所述凸板 的周侧面与横板 的内侧滑动连接， 两个所述滑动块相离的 一侧均固定连接有弹簧， 两个所述弹簧相离的一侧与横板的内侧固定连接 。 [0014]优选的， 两个所述滑动块的底部均 固定连接有夹持板， 两个所述夹持板相离 的一 侧均固定连接有拉环， 所述横板的内侧开设有滑槽 。 [0015]优选的， 所述螺块的左侧固定连接有安装板， 所述安装板 的内侧固定连接有金属说　明　书 1/3 页 3 CN 218064109 U 3