(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222112964.8 (22)申请日 2022.08.11 (73)专利权人 华索 （苏州） 科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市工业园区通园 路236号博济苏印智造1幢5 66室 (72)发明人 王韦杰　 (51)Int.Cl. B24B 7/22(2006.01) B24B 55/03(2006.01) B24B 55/06(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 47/22(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆减薄 设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶圆减薄设备， 包括 加工箱， 所述加工箱内部的下方固定安装有固定 板， 所述固定板内部的两侧均开设有渗水孔， 所 述固定板顶部的中间位置处固定安装有加工台， 所述加工台的横截面为等腰梯形结构， 且所述加 工台顶部的中间位置处开设有安装槽， 所述加工 箱的一侧固定安装有水泵， 所述水泵的底部设置 有吸水管。 本实用新型解决了 现有的晶圆减薄设 备在对晶圆进行打磨时， 会产生大量的细小颗 粒， 这些颗 粒如果不及时清理， 会附着在晶圆上， 影响晶圆减薄的工作效率， 同时在使用时， 不便 于根据实际需要减薄的厚度对晶圆的位置进行 调节， 导致一种减薄设备只能针对一种厚度的晶 圆减薄， 适应性较 差的问题。 权利要求书2页 说明书4页 附图4页 CN 218051747 U 2022.12.16 CN 218051747 U 1.一种晶圆减薄设备， 包括加工箱 （1） ， 其特征在于： 所述加工箱 （1） 内部的下方固定安 装有固定板 （23） ， 所述固定板 （23） 内部的两侧均开设有渗水孔 （19） ， 所述固定板 （23） 顶部 的中间位置处固定安装有加 工台 （24） ， 所述加 工台 （24） 的横截面为等腰梯形结构， 且所述 加工台 （24） 顶部的中间位置处开设有安装槽 （17） ， 所述加 工箱 （1） 的一侧固定安装有水泵 （3） ， 所述水泵 （3） 的底部设置有吸水管 （5） ， 所述吸水管 （5） 的一端延伸至所述加工箱 （1） 内 侧的底部， 所述水泵 （3） 的一侧设置有 出水管 （25） ， 所述出水管 （25） 的一端倾斜安装有喷头 （26） ， 所述喷头 （26） 位于所述加工台 （24） 顶部的一侧， 所述加工箱 （1） 顶部的中间位置处固 定安装有气缸 （2） ， 所述气缸 （2） 的输出端设置有气动伸缩杆 （11） ， 所述气动伸缩杆 （11） 的 底端固定安装有安装板 （12） ， 所述安装板 （12） 的底部固定安装有驱动电机 （13） ， 所述驱动 电机 （13） 的输出端设置有转头 （14） ， 所述转头 （14） 的底端设置有打磨盘 （15） ， 所述打磨盘 （15） 位于所述 安装槽 （17） 的正上 方。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆减薄设备， 其特征在于： 所述加工台 （24） 的内部开设 有安装空腔 （27） ， 所述安装空腔 （27） 位于所述安装槽 （17） 的正下方， 所述安装空腔 （27） 内 部的中间位置处活动安装有螺纹转轴 （28） ， 所述螺纹转轴 （28） 上螺纹套接安装有内螺纹套 （29） ， 所述内螺纹套 （29） 的外侧设置有升降板 （32） ， 所述升降板 （32） 的顶部固定安装有四 根连接杆 （34） ， 所述安装槽 （17） 的底部开设有四个贯穿孔 （33） ， 四根所述连接杆 （34） 的顶 端分别通过四个所述贯穿孔 （33） 延伸至所述安装槽 （17） 的内部， 四根所述连接杆 （34） 的顶 端固定安装有静电吸附盘 （16） 。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆减薄设备， 其特征在于： 所述加工箱 （1） 内部的两侧 均设置有滑道 （20） ， 所述加工箱 （1） 的内部通过两个所述滑道 （20） 安装有安装框 （21） ， 所述 安装框 （21） 的内侧固定安装有过滤网 （22） ， 且所述安装框 （21） 位于所述固定板 （23） 的下 方。 4.根据权利要求3所述的一种晶圆减薄设备， 其特征在于： 所述加工箱 （1） 的表面活动 安装有箱门 （10） ， 且所述加工箱 （1） 的表 面固定安装有盖板 （6） ， 所述盖板 （6） 内部的四端均 螺纹安装有安装螺钉 （4） ， 所述盖板 （6） 通过四个所述安装螺钉 （4） 固定安装在所述加工箱 （1） 的表 面， 且所述安装框 （21） 与所述盖板 （6） 固定连接， 所述盖板 （6） 和所述箱门 （10） 的一 侧均设置有把手 （9） ， 所述盖板 （6） 和所述箱门 （10） 另 一侧的边缘处均粘接有橡胶密封条 （7） 。 5.根据权利要求2所述的一种晶圆减薄设备， 其特征在于： 所述安装空腔 （27） 内侧底部 的中间位置处活动安装有安装轴 （35） ， 所述安装轴 （35） 的顶端与所述螺纹转轴 （28） 的底端 固定连接， 所述安装轴 （35） 上固定套接安装有第二锥角齿轮 （38） ， 所述安装空腔 （27） 的一 侧活动安装有传动轴 （36） ， 所述传动轴 （36） 的一端固定套接安装有第一锥角齿轮 （37） ， 所 述第一锥角齿轮 （37） 位于所述第二锥角齿轮 （38） 底部的一侧， 且 所述第一锥角齿轮 （37） 位 于所述第二锥角齿轮 （38） 底部的一侧， 所述第一锥角齿轮 （37） 与所述第二锥角齿轮 （38） 相 啮合， 且所述传动轴 （3 6） 的另一端设置有旋钮 （18） 。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆减薄设备， 其特征在于： 所述加工箱 （1） 的一侧设置 有加水管 （8） ， 所述加水管 （8） 位于所述固定板 （23） 底部的一侧， 所述加水管 （8） 的一端螺纹 安装有管盖 。 7.根据权利要求2所述的一种晶圆减薄设备， 其特征在于： 所述安装空腔 （27） 内部的两权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 218051747 U 2侧均固定安装有两根限位柱 （30） ， 所述升降板 （32） 的两侧均设置有两个限位套 （31） ， 四个 所述限位套 （31） 分别活动套接安装在四根所述限位柱 （3 0） 上。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 218051747 U 3