(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210386157.7 (22)申请日 2022.04.13 (71)申请人 长鑫存储技术有限公司 地址 230000 安徽省合肥市经济技 术开发 区空港工业园兴业大道38 8号 (72)发明人 高佳　梅晓波　 (74)专利代理 机构 北京康信知识产权代理有限 责任公司 1 1240 专利代理师 谭玲玲 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 5/02(2006.01) (54)发明名称 清洗装置 (57)摘要 本公开提供了一种清洗装置， 包括： 工作台， 用于承载待清洁工件； 清洗部件， 清洗部件的至 少部分设置在工作台的上方， 以使清洗部件处于 工作状态， 清洗部件用于向待清洁工件喷射清洁 介质； 防护组件， 防护组件具有气体流通管件和 与气体流通管件 连通的气体喷出部， 气体喷出部 与工作台之间的最小距离小于清洗部件的清洁 介质出口端与工作台之间的最小距离， 以通过气 体喷出部向清洗部件的下方吹出气流。 本公开解 决了现有技术中的在晶圆清洗之后容易导致晶 圆质量降低的问题。 权利要求书2页 说明书8页 附图2页 CN 114709153 A 2022.07.05 CN 114709153 A 1.一种清洗装置， 其特 征在于， 包括： 工作台， 用于承载待清洁工件； 清洗部件， 所述清洗部件的至少部分设置在所述工作台的上方， 以使所述清洗部件处 于工作状态， 所述清洗 部件用于向所述待清洁工件喷射清洁介质； 防护组件， 所述防护组件具有气体流通管件和与所述气体流通管件连通的气体喷出 部， 所述气 体喷出部与所述工作台之 间的最小距离小于所述清洗部件的清洁介质出口端与 所述工作台之间的最小距离， 以通过 所述气体喷出部向所述清洗 部件的下 方吹出气流。 2.根据权利要求1所述的清洗装置， 其特征在于， 所述气体喷出部沿平行于所述工作台 的支撑端面的方向延伸， 所述气体 喷出部绕第一预定轴线可转动地设置， 以在所述清洗部 件的下方形成防护气层体。 3.根据权利要求1所述的清洗装置， 其特 征在于， 所述防护组件 还包括： 供气管件， 所述供气管件的一端与所述气体流通管件连通， 通过所述气体流通管件向 所述气体喷出部供应气体， 所述供气管件的另一端与气源连通。 4.根据权利要求3所述的清洗装置， 其特征在于， 所述气体流通管件绕自身轴 线可转动 地设置， 通过 所述气体流 通管件带动所述气体喷出部转动。 5.根据权利要求4所述的清洗装置， 其特征在于， 所述气体流通管件的转动速度为100 ～2000转/分钟。 6.根据权利要求3所述的清洗装置， 其特征在于， 所述气体流通管件沿第一方向延伸， 所述气体喷出部沿第二方向延伸， 所述第一方向与所述第二方向之间具有夹角； 所述第一方向为与所述工作台平面垂直的方向。 7.根据权利要求3所述的清洗装置， 其特 征在于， 所述气体喷出部包括气体喷 嘴， 所述气体喷 嘴为多个， 多个所述气体喷 嘴沿所述气体流 通管件的周向间隔均匀设置 。 8.根据权利要求1所述的清洗装置， 其特征在于， 所述气体喷出部包括多个出气孔， 多 个所述出气孔均设置在所述气 体流通管件的管壁上， 多个所述出气孔沿所述气 体流通管件 的周向间隔设置； 其中， 所述气体流 通管件绕自身轴线可转动地设置 。 9.根据权利要求1所述的清洗装置， 其特征在于， 所述气体喷出部包括喷出口， 所述喷 出口设置在所述气体流通管件的管壁上， 所述喷出口沿所述气体流通管件的周向方向延 伸。 10.根据权利要求3所述的清洗装置， 其特征在于， 所述气源供应的气体为氮气、 惰性气 体中的一种或多种。 11.根据权利要求3所述的清洗装置， 其特征在于， 所述气源供应的气体流速为1～5升/ 分钟。 12.根据权利要求1至1 1中任一项所述的清洗装置， 其特 征在于， 所述清洗装置还 包括： 清洗腔室， 所述工作台、 所述清洗 部件和所述防护组件均设置在所述清洗腔室内； 排气管件， 所述排气管件的一端设置在所述清洗腔室的内侧， 所述排气管件的另一端 设置在所述清洗腔室的外侧， 通过 所述排气管件将所述清洗腔室内的气流 排出。 13.根据权利要求12所述的清洗装置， 其特征在于， 所述排气管件为多个， 在工作状态 下， 多个所述排气管件的位置不高于所述待清洁工件的上表面， 且沿所述清洗腔室或所述权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114709153 A 2工作台外围的周向间隔均匀设置 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114709153 A 3