(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123281514.3 (22)申请日 2021.12.24 (73)专利权人 上海翌波光电科技有限公司 地址 201800 上海市嘉定区马陆镇博学路 1288号1幢1层A区 (72)发明人 杨建春　 (74)专利代理 机构 上海昱泽专利代理事务所 (普通合伙) 31341 专利代理师 黄嫔芳 (51)Int.Cl. B08B 9/087(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶体退火炉内壁清洁装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶体退火炉内壁清 洁装置， 包括炉体， 靠近炉体开口的上下内壁上 设有两个支撑板， 两个支撑板与炉体 之间贯穿设 有四个丝杆， 四个丝杆上均安装有活动块， 活动 块之间通过销轴设有刮刀， 刮刀侧壁上连接有限 位柱， 靠近炉体顶部的两个丝杆端头均设有第一 从动皮带轮， 靠近炉体底部的两个丝杆端头均安 装第二从动皮带轮， 靠近第二 从动皮带轮一侧的 炉体顶部设有电机， 电机的输出轴端头连接有转 动轴， 转动轴端头安装有主动皮带轮。 该晶体退 火炉内壁清洁装置， 机械化程度高， 能够有效及 时的清洁晶体退火炉内壁上的附着杂质， 保证晶 体退火炉内壁的温度控制， 进而提高晶体退火质 量， 保证晶体品质。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 216911385 U 2022.07.08 CN 216911385 U 1.一种晶体退火炉内壁清洁装置， 包括炉体(1)， 其特征在于： 靠近所述炉体(1)开口的 上下内壁上设有两个支撑板(2)， 两个所述支撑板(2)与炉体(1)之间贯穿设有四个丝杆 (3)， 四个所述丝杆(3)上均安装有活动块(4)， 所述活动块(4)之间通过销轴(5)设有刮刀 (6)， 所述刮刀(6)侧壁上连接有限位柱(7)， 靠近所述炉体(1)顶部的两个丝杆(3)端头均设 有第一从动皮带轮(8)， 靠近所述炉体(1)底部的两个丝杆(3)端头均安装第二从动皮带轮 (9)， 靠近所述第二 从动皮带轮(9)一侧的炉体(1)顶部设有电机(10)， 所述电机(10)的输出 轴端头连接有转动轴(11)， 所述转动轴(11)端头安装有主动皮带轮(12)， 所述主动皮带轮 (12)与第一从动皮带轮(8)、 第二从动皮带轮(9)之间分别连接有皮带(13)。 2.根据权利要求1所述的一种晶体退火炉内壁清洁装置， 其特征在于： 所述刮刀(6)为 四个， 且与四个内壁相互贴合设置 。 3.根据权利要求1所述的一种晶体退火炉内壁清洁装置， 其特征在于： 所述第 一从动皮 带轮(8)、 第二从动皮带轮(9)、 主动皮带轮(12)外 部罩合有防护壳(14)。 4.根据权利要求1所述的一种晶体退火炉内壁清洁装置， 其特征在于： 靠近所述炉体 (1)开口处的侧壁上安装有密封门(15)。 5.根据权利要求1所述的一种晶体退火炉内壁清洁装置， 其特征在于： 所述丝杆(3)与 炉体(1)之间的连接处均设有滚珠轴承(16)。 6.根据权利要求1所述的一种晶体退火炉内壁清洁装置， 其特征在于： 所述炉体(1)的 底部四角均安装有四个垫脚(17)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216911385 U 2一种晶体退火炉内壁清洁装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶体退火炉技 术领域， 具体为 一种晶体退火炉内壁清洁装置 。 背景技术 [0002]随着社会的不断发展， 人们对物质的要求也越来越严格， 比如对晶体材料尺寸与 性能参数 的要求， 大 晶体的生长过程中由于生长梯度的影响， 晶体内部不可避免的产生内 应力及空位等缺陷， 对晶体进 行退火， 可以降低晶体生长过程导致的内应力， 同时使得部分 杂质在晶体内部分布均匀， 减少空位等微缺陷， 因此大质量晶体的退火设备与工艺对晶体 性能有较大影响。 [0003]传统的晶体退火炉多为方形， 且长时间使用后， 晶体退火炉内壁上会附着有杂质， 若不及时清理， 晶体退火炉内部的温度无法得到精准的控制， 影响晶体的退火进程， 进而导 致晶体质量下降， 影响晶体的品质。 因此， 我们提出一种晶体退火炉内壁清洁装置 。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种晶体退火炉内壁清洁装置， 以解决上述背景技术 中提出的问题。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技 术方案： [0006]设计一种晶体退火炉 内壁清洁装置， 包括炉体， 靠近所述炉体开口的上下内壁上 设有两个支撑板， 两个所述支撑板与炉体之间贯穿设有四个丝杆， 四个所述丝杆上均安装 有活动块， 所述活动块之 间通过销轴设有刮刀， 所述刮刀侧壁上连接有限位柱， 靠近所述炉 体顶部的两个丝杆端头均设有第一从动皮带轮， 靠近所述炉体底部的两个丝杆端头均安装 第二从动皮带轮， 靠近所述第二从动皮带轮一侧的炉体顶部设有电机， 所述电机的输出轴 端头连接有转动轴， 所述转动轴端头安装有主动皮带轮， 所述主动皮带轮与第一从动皮带 轮、 第二从动皮带轮之间分别连接有皮带。 [0007]优选的， 所述刮刀为四个， 且与四个内壁相互贴合设置 。 [0008]优选的， 所述第一从动皮带轮、 第二从动皮带轮、 主动皮带轮外 部罩合有防护壳。 [0009]优选的， 靠 近所述炉体开口处的侧壁上安装有密封门。 [0010]优选的， 所述丝杆与 炉体之间的连接处均设有滚珠轴承。 [0011]优选的， 所述炉体的底部四角均安装有四个垫脚。 [0012]与现有技术相比， 本 实用新型的有益效果是： 该晶体退火炉内壁清洁装置， 通过设 置丝杆、 活动块、 刮刀、 第一从动 皮带轮、 第二从动 皮带轮、 电机、 主动 皮带轮、 皮带， 能够通 过电机驱动主动皮带轮旋转， 再通过皮带分别达到第一从动皮带轮、 第二从动皮带轮旋转， 进而通过第一从动皮带轮、 第二从动皮带轮分别带动丝杆旋转， 再通过丝杆带动活动块前 进， 进而通过活动块带动刮刀前进， 进而达到刮除退火炉内壁上附着的杂质的效果， 使得该 晶体退火炉内壁清洁装置， 机械化程度高， 能够有效及时的清洁晶体退火炉内壁上 的附着 杂质， 保证晶体退火炉内壁的温度控制， 进 而提高晶体退火质量， 保证晶体品质。说　明　书 1/3 页 3 CN 216911385 U 3