(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123142310.1 (22)申请日 2021.12.14 (73)专利权人 先导薄膜材 料 （广东） 有限公司 地址 511517 广东省清远市高新区百嘉工 业园27-9号A区 (72)发明人 黄旭东　杨聪　黄宇彬　童培云　 朱刘　 (74)专利代理 机构 广州三环 专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 阙文锋　黄华莲 (51)Int.Cl. B23K 37/04(2006.01) B23K 37/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种靶材的焊 接夹具工装以及焊 接设备 (57)摘要 本实用新型涉及一种靶材的焊接夹具工装 以及焊接设备， 包括第一夹 具、 第二夹具、 第一卡 盘以及第二卡盘， 所述第一夹具和所述第二夹具 共同将靶材和背板夹持在两者之间， 在焊接过程 中， 至少三个所述第一卡爪夹持在对应的第一卡 槽内和至少三个所述第二卡爪夹持在对应的连 接部上， 使第一卡盘对第一夹具提供的夹持力以 及第二卡盘对第二夹具提供的夹持力能够分散 在靶材对称的四周， 同时第一卡盘为第一夹具提 供朝向第二夹具的挤压力， 以及第二卡盘为第二 夹具提供朝向第一夹具的挤压力， 使得所述靶材 和背板贴合处的任一部分先软化时， 第一卡盘和 第二卡盘仍然能够第一夹具和第二夹具持续提 供挤压力和分散对称的支撑力。 权利要求书1页 说明书7页 附图6页 CN 216858740 U 2022.07.01 CN 216858740 U 1.一种靶材的焊接 夹具工装， 其特 征在于， 包括： 第一夹具， 具有至少三个环 布在端面的第一 卡槽； 第二夹具， 具有连接 部， 所述第一夹具和所述第二夹具相对设置； 第一卡盘， 设有至少三个第一 卡爪， 所述第一 卡爪与所述第一 卡槽相适配； 以及 第二卡盘， 设有至少三个第二 卡爪， 所述第二 卡夹持所述连接 部； 其中， 在所述第一卡盘和所述第二卡盘的作用下， 所述第一夹具和所述第二夹具共 同 将夹持靶材以及背板 。 2.根据权利要求1所述的靶材的焊接夹具工装， 其特征在于， 所述第 一卡槽以所述第 一 夹具的端面的中心为圆心， 等角度的均布在所述第一夹具的端面上。 3.根据权利要求1所述的靶材的焊接夹具工装， 其特征在于， 所述连接部包括至少三个 环布在所述第二夹具端面上的第二 卡槽， 所述第二 卡爪与所述第二 卡槽相适配。 4.根据权利要求1所述的靶材的焊接夹具工装， 其特征在于， 所述连接部包括设于所述 第二夹具端面上的凸起部， 所述第二 卡爪可夹持在所述凸起部上。 5.根据权利要求1 ‑4任一项所述的靶材的焊接夹具工装， 其特征在于， 所述第 一卡槽的 数量为4、 6、 8以及10个， 所述第一卡爪的数量与所述第一卡槽的数量相同， 且两者位置相对 应。 6.根据权利要求1所述的靶材的焊接夹具工装， 其特征在于， 所述第 二夹具背离所述连 接部的端面上设有凸台， 所述凸台用于穿过 所述背板的内槽 抵住所述靶材。 7.根据权利要求1所述的靶材的焊接夹具工装， 其特征在于， 所述第 一卡槽的边缘与 所 述第一夹具的端面 边缘的距离的取值范围为20 ‑40mm。 8.根据权利要求1所述的靶材的焊接夹具工装， 其特征在于， 所述第 一卡盘的结构与 所 述第二卡盘的结构相同， 其中， 所述第一 卡盘包括： 卡盘本体， 所述卡盘本体上设有径向设置的调节槽， 所述第一卡爪可调节地装设在所 述调节槽内。 9.根据权利要求4所述的靶材的焊接夹具工装， 其特征在于， 所述凸起部为所述第 二夹 具的端面上朝远离所述第一夹具 方向延伸的圆柱体。 10.一种焊接设备， 其特 征在于， 包括： 如权利要求1 ‑9任一所述的靶材的焊接 夹具工装。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216858740 U 2一种靶材的焊接夹具工装以及焊接设 备 技术领域 [0001]本实用新型涉及焊接设备的技术领域， 特别是涉及一种靶材的焊接夹具工装以及 焊接设备。 背景技术 [0002]半导体高纯溅射铝靶材是用在半导体材料的镀膜， 常作为芯片导线层材料， 由于 靶材在溅射过程中温度会升高， 因此需要背板来支撑靶材； 目前主要 是采用钎焊、 扩散焊接 和电子束焊接等的焊接方式将靶 材和背板焊接在一起， 其中， 优先选择时间短， 操作较为方 便的电子束焊接； 电子束焊接是利用卡盘、 顶针和夹具的配合， 将靶 材和背板紧密挤压 贴合 在一起， 然后利用高能电子束流将靶材 的铝材料瞬间小范围进行熔化后凝固， 使其牢牢焊 接在一起。 [0003]对于相关技术的电子束焊接中， 卡盘的卡爪和顶针夹持夹具的作用力集中在靶材 的和背板的中心， 导致所述靶材和背板贴合处的任一部分先软化， 两侧的夹具不能很好的 支撑靶材导 致其中一侧翘起， 极易造成靶材变形。 实用新型内容 [0004]为了解决上述问题， 本实用新型的目的是提供一种靶材的焊接夹具工装， 用于解 决了所述靶材和背板贴合处的任一部分先软化， 两侧的夹具不能很好的支撑靶材导致其中 一侧翘起， 极易造成靶材变形和钢卡盘直接作用在靶材 上导致夹痕的技 术问题。 [0005]本实用新型的实施例采用了如下技 术方案： [0006]本实用新型的实施例提供了一种靶材的焊接 夹具工装， 包括： [0007]第一夹具， 具有至少三个环 布在端面的第一 卡槽； [0008]第二夹具， 具有连接 部， 所述第一夹具和所述第二夹具相对设置； [0009]第一卡盘， 设有至少三个第一 卡爪， 所述第一 卡爪与所述第一 卡槽相适配； 以及 [0010]第二卡盘， 设有至少三个第二 卡爪， 所述第二 卡夹持所述连接 部； [0011]其中， 在所述第一卡盘和所述第二卡盘的作用下， 所述第一夹具和所述第二夹具 共同将夹持靶材以及背板 。 [0012]在本申请的一些实施例中， 所述第一卡槽以所述第一夹具的端面的中心为圆心， 等角度的均布在所述第一夹具的端面上。 [0013]在本申请的一些实施例中， 所述连接部包括至少三个环布在所述第二夹具端面上 的第二卡槽， 所述第二 卡爪与所述第二 卡槽相适配。 [0014]在本申请的一些实施例中， 所述连接部包括设于所述第二夹具端面上的凸起部， 所述第二 卡爪可加持在所述凸起部上。 [0015]在本申请的一些实施例中， 所述第一卡槽的数量为4、 6、 8以及10个， 所述第一卡爪 的数量与所述第一 卡槽的数量相同， 且两者 位置相对应。 [0016]在本申请的一些实施例中， 所述第二夹具背离所述连接部 的端面上设有凸台， 所说　明　书 1/7 页 3 CN 216858740 U 3